Tescan3型電子显微镜操作规程.doc

Tescan3型扫描电子显微镜操作规程 1、开机：打开N2阀门 （1）。 （2）由OFF位转向ON位。 （3）如果进行元素分析，（4）系统自动进行硬件、软件自检。（）单击中的[PUMP]抽真空开始。 （）真空要求[HV]接通电镜高压，开始观样品。 2、更换样品 （1）单击[HV]，切断高压。 （2）样品回到初始位置（3）单击窗口中的[]，样品放空，调节合适的N2进入使N2流量太大（4）真空指示红条消失后，样品室恢复为大气压，打开样品室门，更换样品。 （5）好样品后，点击[Pump]抽真空，真空指示进度条变绿后，可点击[HV]开启高压。3、品观察和相、成分析 （1）根据样品特性，选择放大倍数合适的电参数，工作距离WD高压，adjustment》auto gun heating（30kv （75±5）μA； 20(100±5) μA ）进行观（2）按照操作界面上的各种功能菜单，进行图像。 （3）根据放大倍数，扫描速度（4）如果对样品进行成分分析，将WD调mm左右，手动调节样品台高度，直至清晰为止（空载时，物镜极靴与样品台的安全高度为3mm；当BSE探头摇进时，安全高度为8mm）。 （5） 4、关机 （1）切断高压。（2）单击中的[PUMP]抽真空开始，关闭VEGA。 （）点击关闭或文件菜单中的。 （）正常关闭。 （）将SEM机下方面板上的开关由ON转向OFF。 （）关N2阀门。 （）拔下电源插头。 5、安全操作注意事项 （1）进行观察的块状样品，必须有一定的尺寸要求，必须干净，不能有油渍或挥发性气体放出，避免污染电镜。 （2）必须碰触各种探头。 （3）调整试样的工作距离时，注意报警器报警，防止碰触物镜。 （4）样品室的真空达到要求后，可灯丝高压。 （5）操作者不观察样品或离开岗位时，一定切断高压。 （6）退出SEM软件时，一定使系统真空达到要求，保持绿条提示。 （）为防止机病毒，只能使用光盘U盘。（） 8