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金属氧化物透明导电材料的基本原理[精选]
金屬氧化物透明導電材料的基本原理
一、透明導電薄膜簡介
如果一種薄膜材料在可見光範圍內(波長380-760 nm)具有80%以上的透光率,而且導電性高,其比電阻值低於1×10-3 (·cm,則可稱為透明導電薄膜。Au, Ag, Pt, Cu, Rh, Pd, A1, Cr等金屬,在形成3-15 nm厚的薄膜時,都有某種程度的可見光透光性,因此在歷史上都曾被當成透明電極來使用。但金屬薄膜對光的吸收太大,硬度低而且穩定性差,因此人們開始研究氧化物、氮化物、氟化物等透明導電薄膜的形成方法及物性。其中,由金屬氧化物構成的透明導電材料(transparent conducting oxide, 以下簡稱為TCO),已經成為透明導電膜的主角,而且近年來的應用領域及需求量不斷地擴大。首先,隨著3C產業的蓬勃發展,以LCD為首的平面顯示器(FPD)產量逐年增加,目前在全球顯示器市場已佔有重要的地位,其中氧化銦錫(In2O3:Sn, 意指摻雜錫的氧化銦,以下簡稱為ITO)是FPD的透明電極材料。另外,利用SnO2等製成建築物上可反射紅外線的低放射玻璃(low-e window),早已成為透明導電膜的最大應用領域。未來,隨著功能要求增加與節約能源的全球趨勢,兼具調光性與節約能源效果的electrochromic (EC) window (一種透光性可隨施加的電壓而變化的玻璃)等也可望成為極重要的建築、汽車及多種日用品的材料,而且未來對於可適用於多種場合之透明導電膜的需求也會越來越多。
二、常用的透明導電膜
一些目前常用的透明導電膜如表1所示,我們可看出TCO佔了其中絕大部分。這是因為TCO具備離子性與適當的能隙(energy gap),在化學上也相當穩定,所以成為透明導電膜的重要材料。
表1 一些常用的透明導電膜
材料 用途 性質需求 SnO2:F 寒帶建築物低放射(low-E)玻璃 電漿波長 ( 2 (m (增加陽光紅外區穿透) Ag、TiN 熱帶建築物低放射玻璃 電漿波長 ( 1 (m (反射陽光紅外區) SnO2:F 太陽電池外表面 熱穩定性、低成本 SnO2:F EC windows 化學穩定性、高透光率、低成本 ITO 平面顯示器用電極 易蝕刻性、低成膜溫度、低電阻 ITO、Ag、Ag-Cu alloy 除霧玻璃(冰箱、飛機、汽車) 低成本、耐久性、低電阻 SnO2 烤箱玻璃 高溫穩定性、化學及機械耐久性、低成本 SnO2 除靜電玻璃 化學及機械耐久性 SnO2 觸控螢幕 低成本、耐久性 Ag、ITO 電磁屏蔽(電腦、通訊設備) 低電阻 ?
三、代表性的TCO材料
代表性的TCO材料有In2O3, SnO2, ZnO, CdO, CdIn2O4, Cd2SnO4, Zn2SnO4和In2O3-ZnO等。這些氧化物半導體的能隙都在3 eV以上,所以可見光(約1.6-3.3 eV)的能量不足以將價帶(valence band)的電子激發到導帶(conduction band),只有波長在350-400nm(紫外線)以下的光才可以。因此,由電子在能帶間遷移而產生的光吸收,在可見光範圍中不會發生,TCO對可見光為透明。
這些材料的比電阻約為10-1~10-3 ((cm。如果進一步地在In2O3中加入Sn(成為ITO),在SnO2中加入Sb、F,或在ZnO中加入In、Ga(成為GZO)或A1(成為AZO)等摻雜物,可將載子(carrier)的濃度增加到1020-1021cm-3,使比電阻降低到10-3~10-4 ((cm。這些摻雜物,例如在ITO中為4價的Sn置換了3價的In位置,GZO或AZO中則是3價的Ga或A1置換了2價的Zn,因此一個摻雜物原子可以提供一個載子。然而現實中並非所有摻雜物都是這種置換型固溶,它們有可能以中性原子存在於晶格間,成為散射中心,或偏析在晶界或表面上。要如何有效地形成置換型固溶,提昇摻雜的效率,對於低電阻透明導電膜的製作是非常重要的。
In2O3、SnO2與ZnO是目前三種最為人所注意的TCO材料,其中的In2O3:Sn(ITO)因為是FPD上的透明電極材料,近年來隨著FPD的普及成為非常重要的TCO材料。FPD上的透明電極材料之所以使用ITO,是因為它具有以下的優良性質:
(1) 比電阻低,約為1.5(10-4 (·cm
(2) 對玻璃基板的附著力強,接近TiO2或金屬chrome膜
(3) 透明度高且在可見光中央區域(人眼最敏感區域)透光率比SnO2好
(4) 適當的耐藥品性,對強酸、強鹼抵抗力佳
(5) 電及化學的穩定性佳
SnO2膜由於導電性較ITO差,1975年以後幾乎沒有甚麼用途,但因為化學穩定性優良,1990年左右起又開始成為非晶矽太陽電
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