静电防护手册-武汉江晨电子防护材料有限公司.doc

STATIC ELECTRICTY CONTROL PRODUCT. 静 电 防 护 手 册 武 汉 江 晨 电 子 防 护 材 料 有 限 公 司 TEL:027 FAX:027 现今发觉微电子工业由于静电放电（ESD）的问题每年要损失几百万美元。 自从工程师们发现ESD问题会严重影响和降低产品生产率，他们与静电专家们共同工作以寻找解决此问题的方法，这就是防静电腕带、其它导电性材料、抗静电材料、屏蔽材料、静电消除器等ESD控制产品的出现。 然而，因为各类微电子器件对ESD的敏感度彼此各不相同，故在ESD控制方面尚无标准，因此建议应规定一批专人对现有ESD控制系统定期进行测定和检查。由此你可明白是否要重新设计或是升级到某一范围。 ESD就是分别通过在IC制造时的控制和在线路板装配时的控制，以改善产品的质素和成品率。 STATIC ELECTRICTY CONTROL PRODUCT. 静 电 防 护 手 册 武 汉 江 晨 电 子 防 护 材 料 有 限 公 司 TEL:027 FAX:027 （一）静电电荷的产生 静电的产生，最容易莫过于摩擦生电。其所产生的电荷称为“摩擦电荷”。 示例一： 每当两种材料接触，由于在材料甲中其原子核对其外围电子的吸附力较小，因此附着到材料乙上，最后甲之极性为“+”，乙为“-”，由于材料的接触和分离也能形成静电电荷，材料的分离速度、摩擦力、空气湿度的高低和材料种类都能影响因摩擦而产生的静电量。 示例二： 对导电材料，因电子能在它的表面自由流动，所以有其它两种方式可令其产生静电荷。 第一种由感应造成，机理作用为：从材料A处发出电场E，在导电B上感应出极性，当导体B接地，电子从地流入将所有正电荷中和；断去接地时，导体B就变成负电荷； 第二种途径是从一有电荷的导体上将电荷转换，机理作用为：例 如导体B从开始呈中性状态，导体A和B相互接触时，电流从A流向B，直至电压平衡，最后导体B与导体A一样带有电荷。 STATIC ELECTRICTY CONTROL PRODUCT. 静 电 防 护 手 册 武 汉 江 晨 电 子 防 护 材 料 有 限 公 司 TEL:027 FAX:027 （二）静电电荷对微电子工业的影响 由静电电荷所形成的主要问题是：（1）微污染；（2）ESD失效。 有关微污染，因为任何时候晶片本身或空气中的灰尘粒子带有电荷，在它附近即会出现一个电场，靠近这些材料将被感应由此而被极化。库仑力F即会出现并把它们拉在一起，如果两者带有不相同的电荷，那结果更不用说了。 ESD问题，是因为在放电的时候，放电电流主要通过低的电阻率范围，其数量以下式表示: I=△q/△t 式中I为放电电流，q为电荷传导的数量，t为放电时间。 通常，一次放电能在一毫秒内完成，因此，电荷传导越高，放电电流越强。此即当有强的放电电流所产生的热能也就高。若它足够强，在微型集成电路片中它可造成： ***热击穿：P-N界面的破坏； ***介电击穿：氧化层的破坏； ***金属汽化：金属线被汽化而成开路。 STATIC ELECTRICTY CONTROL PRODUCT. 静 电 防 护 手 册 武 汉 江 晨 电 子 防 护 材 料 有 限 公 司 TEL:027 FAX:027 （三）ESD的三种形式 就工业上发现的，ESD基本上有三种形式。它们会引起ESD敏感的装置的降质或损坏。 它们是：1、人体形式； 2、微电子器件带电形式； 3、场感应形式。 人体形式既指当人体活动时身体和衣服的摩擦产生摩擦电荷