精选课件电热水洗Scrubber_507BWA尾气处理器.ppt

* * * * * * * * * www.mat.co.kr Micro Advanced Technology ` Micro Advanced Technology www.mat.co.kr Air Pollution Control Company * 电加热水洗 Local Scrubber MAT507BWA * www.mat.co.kr * 基本规格 规格 原理 电热 水洗 尺寸 (W×D×H) 720×850×1610mm 处理容量 500slm 加热室 -.2套并行加热器 -.内建式水循环系统 -.防腐蚀材料 -.防堵塞设计 -.自动清洁的空气喷嘴设计 -.易于维护 应用 CVD，Diffusion，Implantation 重量 大约 400 Kg(Dry)， 450 Kg(Wet) * 基本规格 ② ① ③ ④ ⑧ ⑦ ⑤ ⑥ No 名称 规格 1 进气管 NW50 2 加热室 INCONEL600 + STS310 + STS304 3 中间法兰 法兰 STS304 套管 STS310 4 吸收体 STS304, Teflon coating 5 水洗室 STS 304, Teflon coating 6 水位感应器 PVC 7 喷嘴 STS 304, Teflon coating 8 排气管 STS 304, Teflon coating * 燃烧空气 加热室 水洗室 Air套管 燃烧室内反应 H2+1/2O2?H2O 2C2H2+5O2?4CO2+2H2O C2H4+3O2?2CO2+2H2O 2NF3 ? N2 + 3F2 水洗室内反应 F*, HF and by-products capturing 循环泵 排放泵 自来水 排水口 排气 废气进口 H2,, NF3, C2H2, C2H4 处理后气体排放 H2, C2H2, C2H4 99% NF3 90% 流程图 * www.mat.co.kr * 加热室 4个进气口 2个涡流空气喷嘴 自动清洁空气喷嘴 -防止粉尘堆积 高防腐蚀材料 2套并行加热系统 -.备用加热系统 -.SiC加热器 -.双热传感器 外部可换式加热器 -.不用打开气室 对热隔绝的双层防护 加热室分解图 加热棒保护套 加热棒 加热室 加热管 * www.mat.co.kr * 中间法兰 已气流屏障防止从水洗室来的湿气 -.防止粉尘在燃烧室内累积 延长P.M.频率 Sleeve N2 or Air * www.mat.co.kr * 水洗室 长气体通道提供良好的水溶性 -.双吸收区域 -.高效率 -.有效清洁粉尘 两个目标喷嘴含盖四个方向 一个自动清洗喷嘴 -.可程序化 -.液位检查 不锈钢吸收器 电极式液位感知器 水洗室 1st Absorber Zone 2nd Absorber Zone 吸收箱 吸收器 * www.mat.co.kr * 第三吸收区 第三吸收区 供应自来水 ? 最后处理区 排放 循环 自来水 * www.mat.co.kr * 直式结构 防爆之安全设计 -.压力扩张将于水洗室内被缓冲 ?水洗室之容量三倍大于燃烧室 由上向下流向 ?防止粉尘堵塞 方型燃烧与水洗室 -.有效空间利用 -.减少占地面积 * www.mat.co.kr * 维护 简单容易的维修 自动的乾/湿舱体的分离拆卸设计 简单 /快速维修循环泵与管路 独特的水洗室与循环系统 ?减少维修点 * www.mat.co.kr * 设备拆解 -.减少人力需求 -.快速清洁时间 3小时 -.易于维修 燃烧/水洗自动拆解设备 * 设备拆卸 * www.mat.co.kr * - 关键问题 1:粉尘堆积 进气口 AC马达 Y型连接器 STS弹簧 去除附着在进气口的粉尘移除 机械方式 内部压力不会下降 简单弹簧更换 在触控面板上可更改时间/频率 ?延长P.M.频率 解决方案 1.进气口清洗系统 * www.mat.co.kr * - 关键问题 1:粉尘堆积 高压 CDA 移除燃烧室内的粉尘 在触控面板上可更改时间/频率 ?延长P.M.频率 解决方案 2.清洁空气喷嘴 * www.mat.co.kr * - 关键问题 1:粉尘堆积 解决方案 3.中间法兰的N2套管 Sleeve N2 or Air 利用空气屏障将水洗室的湿气隔绝 防止粉尘在干湿交接处产生 ?延长P.M.频率 Sleeve N2 or Air * www.mat.co.kr * - 关键问题 1:粉尘堆积 解决方案 4.清洁水