AS镀膜培训报告总结2.ppt

AS培训报告 报告人：何维娜 报告日期：2010.12.31 气之作用 氩气：轰击之作用 氧气：氧化镀膜材料之作用 氮气：清洁设备之作用 氦气：检漏之作用 AS镀膜分类 AS镀膜为三大分类：蒸发镀膜 . 溅射镀膜 . 离子镀膜 蒸发镀膜：在高真空中通过加热蒸发方式使镀料转化为气体凝聚在镀物 表面 溅射镀膜：在高真空中利用荷能粒子轰击镀料表面，使被轰击出的粒子 在基片上沉积的一种技术 离子镀膜： 用一定能量的离子轰击靶材，分子脱离其表面，使靶材分子 输运到衬 底上的一种成膜方法 AS镀膜机台部位名称 AS操作面板项目 操作面板九大项目（日.英.中） ライン监視（生产线监视） 全体（真空动作监视） 搬送（产品输送） 成膜ブロセス（成膜步骤） レシビ （处方模块） ブロセス管理 （程序管理） アラーム（警报） コーテイリテイー （冷却水系统） メンテナンス（保养） MEP与RP介绍及保养 MEP与RP性能：出抽真空 冷 却 机 冷却机性能：通过铜管在机器内制冷凝结室内气体.达到真空效果 离子源保养 钨丝和电极.石英碗为主要保养对象 当操作面板发出警报信号，显示IB（钨丝已到保养时间或者烧断的情况下）可进行保养 钨丝：通常20H需更换一次，保养及更换工作完成后，进入操作面板画面切换Fi12运转即可 电极：用相应的治具-砂纸打磨，把表面的污渍擦干净，用无尘布蘸酒精把电极擦拭干净，再用万用表测试它的绝缘性（重点：电极有大小之分，上面有英文标注，治具也有英文标注，需对应进行） 石英碗：防破，防灰尘，轻拿轻放 保养进行前必须确定离子源电源已断开 保养时所需的治具、砂纸、酒精、无尘布（菜瓜布）内六角、万用表、备品钨丝及图纸 离 子 源 离子源性能：清洗玻璃基片-提高成膜质量 /加速电流产生动能-辅助成膜稳固 传 送 带 操作面板解说： 开启方式： 打开电源 绿灯按钮 全体（出现异常情况下，按アラーム键 可看到异常原因） 红.黄.绿灯性能： 红灯：切断电源，停止运行 黄灯：暂时停止 绿灯：1-10个绿灯全按后，操作画面版按启动键，传送带就可开始运行 RH高温电阻蒸发机 药丸全自动给材系统 电 子 枪 电子枪性能：蒸发源 .促进成膜过程 电子枪原理：钨丝加热产生电流.在磁场作用下形成电子束轰击SIO2 坩 埚 坩埚：放置SIO2材料 * * 　 　 真空室冷却水阀 WV 主冷却水阀 MWV 放气阀门 LV 慢泄压阀 SLV 闸门 DV 冷冻管 TVP 罗茨泵 MBP 高温电阻蒸发机 RH 机械泵 RP 中和器 NT 扩散泵 DP 慢粗抽阀 SRV 高抽阀（主阀） MV 低抽阀（粗抽阀） RV 除霜 DEF 流量开关 FL 电子枪 EB 前级阀门（辅助阀） FV 离子源 IB 中文名称 英文简称 中文名称 英文简称 保养 Maintenance メンテナンス 冷却系统界面 Utility コーテイリテイー 警报 Alarm アラーム 程序管理 Process-set ブロセス管理 处方模块 Recipe レシビ 成膜步骤 Coat-process 成膜ブロセス 产品输送 Carry 搬送 真空动作监视 Overview 全体 生产线监视 Line ライン监視 成膜炉数设定 成膜炉数 真空大气时间 ST7低真空壓力 ST2~ST6低真空、高真空压力 装载室、鍍膜室、卸载室 玻璃输运地带.流程 ST1高真空.低真空压力 此画面主要是对整条镀膜线的监测.真空时间.大气时间. ST2~ST6的成膜数.自动运转许可显示 DP.铜管状态 镀膜室内照明 装载室.镀膜室.运行动作完成时的警报 开始.自动停止按钮 手动.自动切换按钮 设备排气系统 主要是对设备局部运行的监视显示，该画面可做关机动作（auto-stop） 镀膜室灯的控制按钮（start-light) 时间设定自动开机操作（点击time进行设定） ST2~ST6镀膜室，每室可放一套伞具 产品输送进口 一次可进5层 手.自动切换 产品进料数显示地带 输送操作系统 非真空半自动输送操作 手动操作输送.可倒走 该画面是机械内部输送运行的监视.可自动/手动运转.手动可逆行.自动不能 镀膜时间 真空时间 大气时间 ST2~ST6腔体镀膜时高真空压力.高电压.低电流.成膜速率的画面 镀膜操作画面 个体炉腔镀膜操作画面（开始.停止.中止）显示.当其中一个发生故障，便会自动停止.也可手动操作 镀膜室运行时（真空度.高电压.低电流.成膜速率）的监测显示 该画面为镀膜操作