罗茨真空泵抽气系统..doc

全罗茨真空泵无油抽气系统的应用研究 马德宝真空设备集团有限公司 教授级高工：张宝夫 摘要： 罗茨真空泵是一种应用极为广泛的无油真空抽气设备。全罗茨真空泵可以组成大型无油真空抽气系 统，满足近年来各行业对无油真空抽气系统越来越大的需要，但在应用过程中存在噪声高、配套功率大， 尤其是被抽介质产生氮氧化物、结焦物等场合时容易发生卡死等缺陷。根据罗茨真空泵的特性，对全部由 罗茨真空泵组成的抽气系统的组成及性能作一介绍，运用现代设计技术和控制技术，分析了产生这些缺陷 的原因，采取了相应的改进措施。对抽气系统如何实行智能化控制做了叙述。 关键词：罗茨泵；罗茨泵组合系统；噪声； PLC ；变频 一、背景和应用环境 罗茨真空泵 （这以后称为罗茨泵）及其组成的机组具有转速高、体积小、可在需要干式 的环境运行， 组成较大抽气速率的泵组合机组等优点外， 组成抽气系统的气冷罗茨泵还可以 在配带合适的电机及热交换器后可在任意的压力下起动， 任意压差下运行， 因此在①负载较 大；②抽气时间要求短； ③粗真空至高真空均需要大抽速的多种场合如航空航天、 电力、钢 铁处理、 医药化工等广泛地得到了应用， 但组成全罗茨泵机组的巨大配套功率、 巨大的噪声 等问题又使许多应用单位望而生畏。 节能降耗、 改善工作环境业已成为生产企业降低生产成 本、提高产品质量、 争取广大用户的重要手段。本文将根据罗茨泵的特性， 介绍多种罗茨泵 的组合的性能， 就如何更加合理地把大型全罗茨泵抽气系统应用于各行各业作一介绍， 提出 了应用中的一些关键技术问题及其解决方法， 促进应用行业的清洁生产， 对抽气系统如何实 行智能化控制做了叙述。 二、罗茨泵工作原理特性 组成无油真空抽气系统的罗茨泵，主要可分为前级需要真空泵串联使用的 ZJ 型或 ZJP 型 普通罗茨泵和可以直排大气（或耐高压差）的 ZJQ 型气冷式罗茨泵两大类。 2.1 ZJ 或 ZJP 型普通罗茨泵 普通罗茨泵已发展很长时间， 是一种旋转式容积真空泵， 其工作原理和罗茨鼓风机相似， 利用两个 8 字形转子由传动比为 1 的一对齿轮带动，在泵壳中作彼此反向的同步旋转运动， 转子间、转子与泵体间存在间隙、彼此无接触，如图一所示。 图一、罗茨泵工作原理 Fig.1 Principle of Roots pump 2.2 ZJQ 型气冷罗茨泵 国内上世纪 90 年代开始发展起来的 ZJQ 型气冷罗茨泵， 到现在技术和运行已日臻完善， 具有配带合适的电机及热交换器后可在任意的压力下起动， 任意压差下运行的优点。 其工作 原理如图二所示。 该系列泵可以单独使用， 也可以与其他泵组成机组使用， 可达到各种极限压力并在各个 入口压力下安全长期工作 [2] 。mini ipad移动硬盘拍立得百度书包 1. 抽气口； 2. 返冷气口； 3. 泵排气口； 4. 冷媒出口； 5. 冷媒入口； 6. 转子 1 ； 7. 转子 2 ； 8. 泵体； 9. 热交换器 图二、气冷罗茨泵工作原理 Fig.2 Principle of Gas-cooled Roots Pump 2.3 全罗茨泵抽气系统 各行各业的发展， 对真空抽气系统的抽气速率的要求越来越大， 而且又要真空系统实现 无油的真空抽气状态， 如此大的抽气速率只有进行多台真空泵的组合才能得以实现。 市场上 现有的干式真空泵如螺杆真空泵、 爪式真空泵等的抽速特性和结构机理的限制，满足不了 很多场合的应用环境， 用气冷罗茨泵作为前级泵后， 可实现罗茨真空抽气系统的全无油条件， 满足多种场合的应用要求，组成抽气系统的真空泵全部由罗茨泵组成的系统图如图三所示。 根据工作压力和抽气速率等不同的需求工况（见 2.4 ） ，可以采用一级、二级、三级、四 级、五级甚至六级的全罗茨泵组合， 也可以根据工况要求决定溢流阀 I 、溢流阀 II 、和溢流阀 III 的取舍及其罗茨泵 II 是采用气冷罗茨泵还是普通罗茨泵， 目前国内最大的单套全部由罗茨 泵组成的抽气系统的最大抽气速率可以达到 40000L/s 。 1. 进气阀门 2. 压力传感器 3. 入口充气阀 4. 普通罗茨泵 I 5. 温度传感器 6. 罗茨泵 II 7. 温度传感器 8. 溢流阀 I 9. 热交换器 I 10. 罗茨泵 III 11. 温度传感器 12. 溢流阀 II 13. 热交换器 II 14. 罗茨泵 IV 15. 温度传感器 16. 溢流阀 III 17. 热交换器