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特殊化学品系统介绍全解
TFT QA 羅煥明 製 閃火點 龍潭廠 特殊化學品系統介紹 單 位:廠務處液化部特化課 報告者:宋狄堂 藥供室區域 充填回收作業 特化設備 化學品性質 安全防護系統 漏液緊急處理 特化系統安全說明 L2棟 L1A 藥供室 L1棟 廠務特化藥液供應室 L2 藥供室 藥供室區域 有機室 華南三路 L1 棟 L1藥品供應室 混酸室 無機室 藥供室區域 廢液回收 作業區 有機室 華南 二路 L2 棟 行政大樓 L2藥品供應室 酸室 鹼室 藥供室區域 藥供室分布 藥供室 樓層 藥供室 樓層 中桶槽區 L10 地下桶槽區 (L1東側) B1F 有機室、酸室、鹼室 L20 有機室、無機室 1F 有機室、酸室、鹼室 L30 中繼站 2F 酸室、鹼室 L50 - - L2藥供系統 (L2棟WS) L1藥供系統 (L1棟西側) 藥供室區域 L2 棟 充填槽車 藥液充填作業 L1 棟 回收槽車 藥液回收作業 充填回收作業 儲存藥品 有機室:有機類藥液 Stripper(光阻剝膜液)、Thinner (光阻稀釋液) 、NMP、 丙酮、異丙醇 酸 室:酸性藥液 鋁蝕刻液、ITO蝕刻液、CrT蝕刻液、CAN、磷酸 、硝酸 鹼 室:鹼性藥液 顯影液 25%、顯影液2.38% 、顯影液0.4%、洗劑 充填回收作業 有機類藥液 化學品性質 液體隨著溫度增加,其蒸氣壓增加,當蒸氣與空氣混合達燃燒下限時,遇火燃燒,惟一閃即滅,稱為閃火點。液體之開杯閃火點在攝氏六十五度以下者稱為易燃液體。 化學品性質 乙醚、汽油、乙醛、環氧丙烷、 二硫化碳 < -30 ℃ 正己烷、環氧乙烷、丙酮、苯、丁酮 -30 ~ 0 ℃ 異丙醇、甲醇、二甲苯、乙酸戊酯 0 ~ 30 ℃ 煤油、輕油、松節油、異戊醇、醋酸、Thinner 30 ~ 65 ℃ 甲苯、汽油 <65 ℃ 化學品 閃火點 有機類藥液大部份均為可燃性,嚴禁火花及熱源。 酸性藥液 化學品性質 鹼性藥液 化學品性質 ※『顯影液』危害特性:類神經毒素,吸入、食入或皮 膚大面積接觸,15~30分鐘內產生急性中毒抑制呼 吸肌肉群,造成呼吸肌肉癱瘓,心跳減緩,呼吸衰 竭死亡。 人類口服可能致死劑量:25%TMAH 0.8cc~4cc 2.38%TMAH 8.4cc~42cc。 藥液儲存槽 藥液充填至特定化學品儲槽,以作為庫存 特化設備 藥液供應設備 藥液由設備供應至無塵室使用端 特化設備 廢液儲存槽 廢液循重力流方式流至廢液儲槽 特化設備 危害分類標示 儲槽、設備標示 管路標示 特化設備 系統設備安全項目 Chemical Leak Detector ( 漏液偵測器) CO2 Relief System (CO2鋼瓶消火系統) Sprinkler Head(灑水系統) Gas Detector( 氣體偵測器) Monitor System(中央監控系統) 特化系統安全說明 漏液偵測器 安全防護 截液溝 Pit Pump 室內 室外 截液溝 預先防護:設置於設備、儲槽之漏液檢知器可及早發現漏液狀況, 通知人員處理。 大量處理:由截液溝防止藥液外流,並啟動自動抽液設備,將大量 藥液抽至廢液儲槽。 安全防護 L1A CO2設備 L2 CO2設備 CO2鋼瓶消火系統 僅針對有機類藥液設置 安全防護 火焰偵測器 L2 藥供設備 溫度感知器 L1 藥供設備 CO2鋼瓶消火系統 安全防護 * * * *
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