特殊化学品系统介绍全解.ppt

TFT QA 羅煥明 製 閃火點 龍潭廠 特殊化學品系統介紹 單 位：廠務處液化部特化課 報告者：宋狄堂 藥供室區域 充填回收作業 特化設備 化學品性質 安全防護系統 漏液緊急處理 特化系統安全說明 L2棟 L1A 藥供室 L1棟 廠務特化藥液供應室 L2 藥供室 藥供室區域 有機室 華南三路 L1 棟 L1藥品供應室 混酸室 無機室 藥供室區域 廢液回收 作業區 有機室 華南 二路 L2 棟 行政大樓 L2藥品供應室 酸室 鹼室 藥供室區域 藥供室分布 藥供室 樓層 藥供室 樓層 中桶槽區 L10 地下桶槽區 (L1東側) B1F 有機室、酸室、鹼室 L20 有機室、無機室 1F 有機室、酸室、鹼室 L30 中繼站 2F 酸室、鹼室 L50 - - L2藥供系統 (L2棟WS) L1藥供系統 (L1棟西側) 藥供室區域 L2 棟 充填槽車 藥液充填作業 L1 棟 回收槽車 藥液回收作業 充填回收作業 儲存藥品 有機室：有機類藥液 Stripper（光阻剝膜液）、Thinner （光阻稀釋液） 、NMP、 丙酮、異丙醇 酸 室：酸性藥液 鋁蝕刻液、ITO蝕刻液、CrT蝕刻液、CAN、磷酸 、硝酸 鹼 室：鹼性藥液 顯影液 25%、顯影液2.38% 、顯影液0.4%、洗劑 充填回收作業 有機類藥液 化學品性質 液體隨著溫度增加，其蒸氣壓增加，當蒸氣與空氣混合達燃燒下限時，遇火燃燒，惟一閃即滅，稱為閃火點。液體之開杯閃火點在攝氏六十五度以下者稱為易燃液體。 化學品性質 乙醚、汽油、乙醛、環氧丙烷、 二硫化碳 ＜ -30 ℃ 正己烷、環氧乙烷、丙酮、苯、丁酮 -30 ~ 0 ℃ 異丙醇、甲醇、二甲苯、乙酸戊酯 0 ~ 30 ℃ 煤油、輕油、松節油、異戊醇、醋酸、Thinner 30 ~ 65 ℃ 甲苯、汽油 ＜65 ℃ 化學品 閃火點 有機類藥液大部份均為可燃性，嚴禁火花及熱源。 酸性藥液 化學品性質 鹼性藥液 化學品性質 ※『顯影液』危害特性：類神經毒素，吸入、食入或皮 膚大面積接觸，15~30分鐘內產生急性中毒抑制呼 吸肌肉群，造成呼吸肌肉癱瘓，心跳減緩，呼吸衰 竭死亡。 人類口服可能致死劑量：25%TMAH 0.8cc~4cc 2.38%TMAH 8.4cc~42cc。 藥液儲存槽 藥液充填至特定化學品儲槽，以作為庫存 特化設備 藥液供應設備 藥液由設備供應至無塵室使用端 特化設備 廢液儲存槽 廢液循重力流方式流至廢液儲槽 特化設備 危害分類標示 儲槽、設備標示 管路標示 特化設備 系統設備安全項目 Chemical Leak Detector ( 漏液偵測器) CO2 Relief System (CO2鋼瓶消火系統) Sprinkler Head(灑水系統) Gas Detector( 氣體偵測器) Monitor System(中央監控系統) 特化系統安全說明 漏液偵測器 安全防護 截液溝 Pit Pump 室內 室外 截液溝 預先防護：設置於設備、儲槽之漏液檢知器可及早發現漏液狀況， 通知人員處理。 大量處理：由截液溝防止藥液外流，並啟動自動抽液設備，將大量 藥液抽至廢液儲槽。 安全防護 L1A CO2設備 L2 CO2設備 CO2鋼瓶消火系統 僅針對有機類藥液設置 安全防護 火焰偵測器 L2 藥供設備 溫度感知器 L1 藥供設備 CO2鋼瓶消火系統 安全防護 * * * *