真空基础培训-简单要点分析.ppt

5 关闭 打开 全逆流模式 9 关闭 打开 精检模式 高灵敏度(Short Appearance time) 占用空间小 可移动性/便携性 洁净的无油系统 Semiconductor testing operation conditions require very high sensitivity and outstanding “ZERO” capabilities to guarantee a fast “appearance” times and to meet the tightness requirements. 高抽速真空泵 In order to achieve fast “appearance” time, when testing large components without the need of auxiliary pumps, most leak detector arrangements are to be geared up to provide for a large helium pump capability. As contamination is to be minimized, modern helium leak detection arrangements have to provide for hydrocarbon free operation (to include all applied pumps). As the leak detectors are to be used on multiple systems, mobility/portability is an important factor Leak detectors used in the service corridors have to meet specific maximum dimensions to be moved around efficiently. 快速的响应时间和清除时间 To assure proper operation and efficiency during gross leaks and fine leak detection 对氦气检漏仪的要求 VSPR VSMD 959 PHD-4 瓦里安检漏仪系列 吸枪检漏法 对各种内部压力高的系统进行检漏（如气体输运管或者高压容器） 对真空流导较差或者内部可能存在饱和蒸汽压较高（如水循环冷却管道等）的系统进行检漏 喷氦检漏法 真空系统检漏 对能够承受一个大气压腔体内外压差的被检件进行检漏 常用氦气检漏法 系统总漏率测量（定量） 内真空检测 / 内充氦检测 可承受15 psi（约103kpa）内外压差的密封真空器件（例如汽车安全气囊系统的储气装置） 备压检漏 小型密封器件（例如IC模块） 累积法检漏 不能承受超过1个大气压内外压差的密封容器（例如汽车油箱等） 对于使用内充氦法而言体积太大的真空系统上的待检部件 常用氦气检漏法 真空喷氦法检漏 确定漏点的检漏方法 1 喷枪 2 被测容器 3 VS检漏仪 4 氦气 5 辅助抽气系统 3 最小可检漏率 5x10-12 mbarl/s 整体检漏法--样品负压 5 1 vacuum chamber 2 sample 3 leak detector 4 test gas 5 pumping stage 1 2 4 3 4 整体检漏法-样品充压 5 1 vacuum chamber 2 sample 3 leak detector 4 test gas 5 pumping stage 1 2 3 正压法/吸枪法 确定漏点的检漏 (吸枪法) 最低可检漏率 1x10-7 mbarl/s!!! 1 吸枪 2 被测容器 3 VS检漏仪 4 氦气 He SPRAY PROBE Vacuum 真空喷氦法检漏 避免误判漏孔的位置 在静止空气环境下，自上而下对系统进行喷吹。 在流动空气环境下工作，需考虑以下因素： 自下风口至上风口方向检测 进行精细测试工作时需使用遮挡物以阻挡风的影响 使用适当物品（如橡胶手套等）将被测的位置与周围的其他部件隔离开来，或者 使用隔离罩将被测位置罩起来与周围隔离，并向隔离罩内通入