ESD量测方法与步骤.ppt

Profile(Prfl-CH) ESD量測方法與步驟 適應範圍與目的 內容摘要 靜電地板的測試(一) 靜電地板的測試(二) 靜電地板的測試(三) END WI029 Griss 07.10.3 1. 適應範圍:適用于公司內部所有靜電防護措施的檢測 2.規范公司內部靜電防護用具測試方法,做到統一化管理. 標題 1 適應範圍與目的 2 靜電地板的測試 4~6 廠房靜電接地系統測試 7~8 靜電桌墊測試 9~11 機器/儀器/治具接地(用三腳插座的)靜電電壓測試 12 機器/儀器/治具/靜電桌墊接地線測量 13~14 台車接地鐵鏈測試 15 靜電手環測試 16~17 靜電手環/靜電鞋系統測試 18~19 END 20 1.使用設備:表面電阻測試儀(3M #701 Test Kit) 2. 測試時間:每季度第一週 3. 測試步驟: a. 取出表面電阻測試儀,兩個地雷的底部用抹布擦拭干淨. 將接的兩端分 別插入地雷和測試儀.并將測試儀調至100V當. b. 面對面測試:取靜電地板區域任意兩點(兩點間距离為0.9~1.5m)各放置 一地雷,按下TEST按鈕讀出儀器指針讀數,紀錄于“靜電地板測試紀錄表”; 如上方法再任意取與前面不相同的兩點進行測試,結果分別紀錄于表格中 面對面對應6個項次; c. 面對地測試:取靜電地板上任意一點及大地上任意一點,分別放置一地雷,按 下TEST按鈕進行測試,讀出儀器指針讀數,紀錄于表格中面對地對應項. d. 測試結果與相應項次SPEC值比對,若七項都在規格內則視為OK,在結果欄內 填寫OK,反之只要有一項不在規格之內就判為 NG e. 維護課對結果NG的靜電地板作异常處理并將結果填寫于表格內 廠房靜電接地系統測試(一) 1. 使用設備:接地搖表 2.測試時間:每月第一週 3.測試步驟: a.將室外接地的二只銅棒插入地下0.5m ， 二只銅棒距離:2.5m. b. 接地搖表接線:將搖表P,T:兩端子分別接室外接地銅棒,E:端接測試點 c. 一只手搖表 ，另一只手調節表值， 當指鐘為”0”讀取數值,并紀錄于 廠房靜電測試紀錄表. d. 測試結果于規格阻抗值不大于4ohm進行比對,不合格的由維護課對 接地系統進行檢查,對損坏部分進行更換 廠房靜電接地系統測試(二) 靜電桌墊測試(一) 1. 使用設備:表面電阻測試儀(3M #701 Test Kit) 2. 測試時間:每月第一週 3. 測試步驟: a.取出表面電阻測試儀,兩個地雷的底部用抹布擦拭干淨. 將接的兩端 分別插入地雷和測試儀.將測試儀調至10V當 b. 面對面測試:取靜電桌墊上任意兩點,兩點間距离為0.9m~1.5m,各放置一地 雷,按下TEST按鈕讀出儀器指針讀數,紀錄于“ESD桌墊靜電扣接地每月查 核紀錄表; 靜電桌墊測試(二) c. 面對地測試:取靜電桌墊上任意一點及大地上任意一點,分別放置一地雷, 按下TEST按鈕進行測試,讀出儀器指針讀數,紀錄于表格中面對地對應項. d. 測試結果與規格進行比對,兩項都在規格之內則為OK,有一項不在規格 之內則視為NG,NG的靜電桌墊須進行更換處理. 靜電桌墊測試(三) 機器/儀器/治具接地(用三腳插 座的)靜電電壓測試 1. 使用設備:万用電表 2. 測試時間:每週第一個工作日 3. 測試步驟: a. 將万用電表調至AC擋 b.測試機器/儀器/治具金屬外殼對大地間的漏電電壓,將測試值填寫于儀器設備接地每週查核紀錄表 c. 測量標準應小于5ACV,否則判為NG,對NG須重新檢查接地狀況,并維修. 機器/儀器/治具/靜電桌墊接地線測量(一) 1. 使用設備:万用電表 2. 測試時間:每週第一個工作日 3.測試步驟: a.將万用電表調至歐姆擋 b.測試接地線兩端間的阻抗值,万用電表的黑表筆用靜電接地線的鱷魚夾 夾住,紅表筆接触靜電線靜電扣金屬部分,將測試值填寫于“儀器設備接地 每週查核紀錄表“(測試時需以45度角晃動靜電線,看測試值是否會因損坏 而跳變,若跳變在規格范圍1M+20%歐姆之間,表示正常,若超出此規格,則 視為NG) (如下圖) c. 測量標準應在1M+20%歐姆之間,否則判為NG,對NG的接地線作更換處理. 機器/儀器/治具/靜電桌墊接地線測量(二)