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蚀 刻 教 材 目的：为新进工程师了解蚀刻工艺流程 目录： 蚀刻简介 ----------- 3 蚀刻工艺流程及原理 --------- 4-5 蚀刻常见质问题及对策 -------- 6-9 环保局 -------------------------------10 蚀 刻 简 介： 蚀刻由显影、蚀刻、褪膜三大部份组成。显影为将未曝光部份溶 解，曝光部份保留。显影的决定速度可按露铜点50-70%决定。蚀 刻是将裸露的铜面蚀掉，从而得到我们所需的图形。褪膜是利用强 碱能将干膜溶解原理，将干膜冲洗干净。NaOH浓度控制3-5%。浓 度过高会造成板面氧化，太低又冲洗不干净。 蚀刻工艺流程： 显影 蚀刻 褪膜 显影目的是将末曝光之干膜溶解。曝光部份保留下来，其原理是经曝光后的 干膜遇弱碱不能溶解，而末曝光部份能溶解掉，蚀刻目的是将露铜面的铜溶 解掉，而有干膜部分保留下来。其工作原理为：Cu+Cucl2 2Cucl 2Cucl+Hcl+H2O2 2CuCl2 +2H2O 2Cucl+Hcl+1/2O2 2Cucl2+H2O 各种药物在蚀刻液中的必要性及效果。 HCL作用 1、使Cucl转化为Cucl2 2、使蚀刻速度增高。 3、促进蚀刻速度长期稳定化 4、HCL浓度过高会伤Resist H2O2作用 1、使CU+ CU2+起催化作用 2、起再生作用 蚀刻常见的品质问题有： 1、开路 2、短路 3、蚀刻末净 4、线幼 5、蚀刻过度 各种药水控制浓度及工艺参数：Na2CO3 0.7-1.1% HCL 30-35% CU2+ 100-120 g/l NaOH 1.0-4.0% 显影压力为25-30PSI蚀刻太力为35-45PSI 显影的速度控制应保持露铜点50-70% 对策： 对于开路在蚀刻段主要原因有： 1、运输轮的擦花 2、压辘会粘起干膜。我们可检查运输轮将变形之运输轮的胶圈更换解决这 问题，同时可定期更换运输轮来预防这一问题的发生。 3、对于压辘粘起干膜，我们要求每天每次开机前用清水清洗压辘，将结晶 盐溶解，同时每星期定时用酒精擦压辘。 短路的成因有： 1、显影不干净 2、运输轮本身粘有干膜碎 对策： 1、对于显影不净可控制显影速度的合理性和采用圆锥形的喷嘴，并保持显 影压力。 2、运输轮本身粘有干膜可停止开风刀来防止 3、油粘在铜板的表面我们可用吸油绵或更换过滤棉蕊来解决。 蚀刻未净的原因有： 1、蚀刻速度过快 2、蚀刻药水太稀 对策：可适当降低蚀刻速度 线幼的原因有： 1、蚀刻温度过高 2、显影速度太慢 对策： 1、降低蚀刻温度 2、加快显影速度太慢 环保上理方面： 对于褪去的干膜，我们采用的是高温焚烧的方式去解决，关于蚀刻废液的排放，我们采用AQVA，采用小量的排放，保证废液锤度小于1.1，对于开缸前的药水采用回收药水的方式。