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洁净室工程师培训教程洁净室设计 张利群 2012年4月 　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　洁净室设计 １. 洁净室基础知识 1.1 洁净室的定义 1.2 洁净室的四大技术要素 1.3 洁净室的分类 1.3.1 按洁净室气流流型洁净室的分类 1.3.2 按洁净室主要的控制对象洁净室的分类 1.4 洁净室洁净度的等级标准（ISO 14644-1） 　　　　　　　　　　　　　　　　　　 2. 洁净室的消防、节能和环保 2.1 洁净室的消防 2.1.1 洁净室的建筑消防 2.1.2 洁净室的水消防 2.1.3 洁净室的电气消防 2.1.4 洁净室的防排烟  2.2 洁净室的节能 2.2.1 洁净室的空调负荷 2.2.2 洁净室的空调负荷特点 2.2.3 洁净室净化空调系统的节能措施 2.3 洁净室的环保工程 2.3.1 洁净室的废水处理 2.3.2 洁净室的废气处理 3 洁净室设计（案例） 3.1 洁净室净化空调设计的程序步骤 3.1.1 设计前的准备工作及应收集的数据和资料 3.1.2 工艺平面和建筑平面的规划 3.1.3 净化空调系统和排风系统的划分原则 3.1.4 洁净室的负荷计算（热湿、风量、水力三大平衡计算） 3.1.5 七个典型的空气处理系统即空气处理过程的优化 3.1.6 洁净室净化空调系统的冷、热源 3.1.7 空调和净化设备选择 3.1.8 施工图的绘制 3.1.9 施工现场的工地工作 3.1.10 洁净室竣工验收调试和测试 3.2 三个净化工程的典型案例 3.2.1 大面积ISO 6级顶送顶回非单向流洁净室的工程案例 3.2.2 深圳清溢精密光电有限公司的ISO 2级洁净室工程案例 3.2.3 北京航天光学遥感特殊高大实验室矢流洁净室的设计 1. 洁净室的基础知识 1.1 洁净室的定义 洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可最大限度减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控（ISO 14644-6）。 1.2 洁净室的四大技术要素 洁净室的四大技术要素是 一、送风至少经过三级过滤（粗效、中效和高效），并且高效过滤器应设置在系统的末端。 二、洁净室应有足够的净化和空调的送风量。 三、洁净室应维持必要的压力梯度（正压梯度或负压梯度）。 四、洁净室应有合理的气流组织。 1.3 洁净室的分类 1.3.1 按气流流型洁净室的分类 按气流流型洁净室可划分为： ▲ 单向流洁净室 ▲ 非单向流洁净室 ▲ 混合流洁净室 ▲ 矢流洁净室 一、单向流洁净室 1、单向流（层流）洁净室，其中又分垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。 四、矢流（对角流）洁净室 ▲ 用圆弧型高效过滤器风口送风，对面侧下部回风口回风的气流流型被称为矢流。 1.3.2 按洁净室主要的控制对象洁净室的分类 按洁净室主要控制对象划分洁净室又可划分为： ▲ 工业洁净室 ▲ 生物洁净室 一、工业洁净室 1、工业洁净室主要的控制对象是灰尘粒子（不分有生命的、无生命的）。 2、工业洁净室主要应用在电子、航天、航空、机械、化工、化学制药、能源、纳米等工业中。尤其是电子工业中的微电子和光电子工业更是离不开洁净室和洁净技术。 二、生物洁净室 1、生物洁净室主要控制对象是有生命的、活的微生物粒子，如病菌、病毒等对人类、动物、环境有害的活的粒子。 2、生物洁净室广泛地应用在医疗（洁净手术室、洁净病房）、生物制药、实验动物饲养、生物安全实验室、食品、化妆品以及卫生防疫检疫的事业中。生物洁净室的发展速度非常快，而且得到了国家和地方政府的认同和重视。 1.4 洁净室洁净度等级标准ISO 14644-1 一、ISO-14644是国际标准，现在美国、欧洲、日本、俄罗斯和我国都采用此标准，美国原来应用的是美国联邦标准FS209A、B、C、D、E，现在也不用了。原来我们熟悉的100级、1000级、10000级和100000级都是源自美国联邦标准FS 209B，现在它们分别被国际标准ISO-14644标准中的5级、6级、7级和8级所替代。 2 洁净室的消防、节能和环保 2.1 洁净室的消防 2.1.1 洁净室的建筑消防 一、洁净室建筑不利于防火的因素 1、空间密闭、围护结构气密性好，一旦火灾温度会迅速上升，大量烟气不易排出，令人窒息又不利于疏散和扑救。 2、洁净室建筑内各种关卡多，对外出口少，疏散通道不畅，延长了疏散距离和时间。 3、洁净室建筑装修有一些高分子的合成材料会产生浓烟和毒气。工艺生产中往往会使用大量的易燃易爆的化学物质也是洁