特纯气体管道施工组织设计.doc

西安微电子技术研究所长安园区 高纯气体管道施工工艺标准 拟稿单位：西安天建装饰工程有限公司 编 制： 赵 刚 审 核： 王 睿 二O一四年七月二十日 目 录 1、总则----------------------------------------------------------------------------------1 2、高纯气体的三个主要参数-------------------------------------------------------1 3、管道材料选择----------------------------------------------------------------------2 4、施工程序----------------------------------------------------------------------------4 5、图纸会审----------------------------------------------------------------------------5 6、工程测定----------------------------------------------------------------------------5 7、绘制管段图-------------------------------------------------------------------------5 8、设置预制洁净房-------------------------------------------------------------------6 9、材料检查确认----------------------------------------------------------------------6 10、保护气体的供给和管理---------------------------------------------------------9 11、管段预制--------------------------------------------------------------------------11 12、现场配管施工--------------------------------------------------------------------13 13、压力试验--------------------------------------------------------------------------19 14、系统吹扫--------------------------------------------------------------------------20 15、系统测试--------------------------------------------------------------------------21 附录1 露点、含湿量、绝对湿度换算表---------------------------------------24 附录2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级------------------------26 附录3 EP/BA管自动氩弧焊接钨棒尺寸表------------------------------------27 总则 本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。 气体管道的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部。 当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件，且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离。 高纯气体管道的设计应符合下列要求： a. 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不小于φ6×1mm； b. 管道系统应尽量短； c. 不应出现不易吹除的盲管、死角； d. 管道系统应设必要的吹除口和测试取样口。 气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施，并用装饰板封堵。 可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。放散管引至室外应高出屋脊1米，并应有防雨、防杂物侵入的措施。可燃气体和氧气管道还应符合《洁净厂房设计规范》8.4安全技术措施的有关要求。 高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。 高纯气体的三个主要参数 所谓高纯气体管道的洁净技术控制，主要是指气体纯度、干燥度、洁净度的控制（即三度控制）。 气体纯度 指气体中杂质气氛的含量，通常用