纳米ZnO.doc

本科生毕业论文(设计) 题 目： Si衬底上制备六角ZnO纳米线结构 2012年5月 目 录 摘要 1 关键词 1 Abstract 1 Keyword 1 前言 2 1 纳米ZnO及其结构 3 1.1纳米及纳米技术 3 1.2 ZnO的基本性质 3 1.3纳米ZnO的性质及其应用 4 2.ZnO纳米材料的制备及其表征方法 6 2.1 ZnO纳米结构的制备方法 6 2.2 ZnO纳米结构的表征方法 7 3.在Si衬底上制备六角ZnO纳米线结构 9 3.1 ZnO纳米棒的制备过程 9 3.1.1硅衬底的预处理 9 3.1.2利用磁控溅射设备溅射ZnO籽晶层 9 3.1.3 溶液配置 10 3.1.4 生长ZnO纳米棒 10 4.ZnO纳米线结构的分析与讨论 11 5.结论与总结 14 参考文献 15 致谢 16 Si衬底上制备六角ZnO纳米线结构 摘要 氧化锌(ZnO) 是一种新型的宽禁带化合物半导体材料,是II-VI族直接宽禁带氧化物，室温下禁带宽度为3.37eV，具有独特的光学和电学特性。纳米科技是20世纪80年代末、90年代初发展起来的。目前世界各国对纳米氧化锌的研究主要包括制备、微观结构、宏观物性和应用等四个方面，纳米氧化锌(ZnO)是指粒径介于1-100nm之间的氧化锌材料,具有比普通氧化锌更优良的性质,如非迁移性、荧光性、压电性等，利用在光、电、磁、敏感性方面的奇妙性能，可制造气体传感器、压电材料、压敏电阻等。 纳米氧化锌作为一种新型材料既具有纳米的特性又具有氧化锌的性质，从而使其具有比纳米和氧化锌更优越的用途，所以本篇文章主要研究纳米氧化锌的纳米线性结构。 关键词 氧化锌；纳米；纳米氧化锌；纳米线；Si衬底 Abstract Zinc oxide (ZnO) is a new type of wide band gap compound semiconductor materials. It’s II-VI direct wide band gap oxide of 3.37eV at room temperature band gap.It has a unique optical and electrical properties. Nanotechnology is developed at the end of the 1980s and in the early of 1990s.The research of the zinc oxide including four aspects, the preparation the microstructure the macroscopic properties and applications in the world. Zinc oxide (ZnO) is the particle size range between 1 to 100 nm . Zinc oxide material has more excellent properties than an ordinary zinc oxide such as non-migratory, fluorescence, piezoelectric, etc., It’s used of the gas sensor, a piezoelectric material, varistors and so on. marvelous performance in the optical, electrical, magnetic, sensitivity can be manufactured. Zinc oxide as a new material has not only nano features but also the nature of the zinc oxide, making it with nanodrugs and zinc oxide superior purpose of this article ZnO nano-linear structure. Keyword Zinc oxide; nano; nano-zinc oxide; nanowires; Si substrate 前言 在当今科技迅猛发展的社会，人类已经不再满足于宏观物质的研究，逐渐从宏观过渡到微观物质，即纳米材料。纳米技术正在逐步影响着每一个人，经过十多年的研究与探索，现已在纳米材料制备方法、结构表征、物理和化学性能、实用化等方面取得显著进展，研究成果日新月异，研究范围不断拓宽。而什么是所谓的纳米技术呢？