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TFT―LCD洁净间新风系统节能管理 　　【摘要】本文只是针对TFT-LCD洁净厂房新风系统运行模式能耗进行分析，介绍TFT-LCD洁净厂房特点及新风系统能耗，新风的系统的控制方式，提出几种新风系统节能管理方案。 　　【关键词】半导体；新风系统；节能管理系统；MAU 　　一、 TFT-LCD 洁净间系统介绍 　　1、 TFT-LCD 洁净间厂房的特点 　　TFT-LCD生产工艺要求情况决定了TFT-LCD洁净间厂房的特点，目前洁净厂房主要是半导体厂、TFT-LCD厂、医药行业洁净室及汽车喷漆等。TFT-LCD厂洁净间厂房相对其他行业的洁净间厂房有自己的特点，除了洁净度、温湿度，正压要求外，TFT-LCD行业电子洁净厂房面积比较大，随着各种高世代线的投入，洁净厂房的面积也越来越大，对温湿度，洁净度控制要求也越来越高。总的来说，电子工厂生产工艺对环境的要求可用大、净、精来形容。 　　2、 TFT-LCD 洁净厂房结构 　　为了降低洁净室的建造初投资和运行能耗，电子工厂的高级别洁净室一般把ISO1级～ISO5级这样高净化级别的垂直单向流用在工艺生产最重要、最关键的部位，用大面积的非单向流（ ISO6级～ISO8级） 替代大面积的单向流，也就是把垂直单向流与非单向流组合在一个洁净室内，构成混合流洁净室。混合流洁净室的净化空调系统一般采用新风机组（ M AU ） 加风机过滤器机组（ FFU ） 加干表冷盘管（ DCC） 送风方案。 　　下图是洁净产房图，采用3层结构，中间部分是工艺生产部分，上部是FFU 区域，下部分是管道布置及动力设备区域，两侧是空调机房， 　　采用MAU+DCC+FFU运行方式。 　　3、 新风机组MAU控制方式简介 　　洁洁净间的工艺环境要求主要是洁净度、温湿度、正压，洁净度根据工艺要求主要要求是100级及1000级，主要是新风机组过滤器及FFU来实现、温湿度控制由新风机组及DCC（表冷盘管）控制，正压新风机组送风量来实现。 　　某光电公司洁净厂房采用MAU机组送风控制方案，总计34台MAU机组，总风量最大能达到240万M3/H，新风量消耗巨大。 　　二、 TFT-LCD 新风系统能耗分析 　　1、 TFT-LCD 洁净间厂房能耗现状统计 　　TFT-LCD 电子厂房能耗很大，主要是水、电、气消耗，水主要是WWT及UPW站使用，主要是产线使用的UPW用水；气主要是压缩空气及其他气体使用；空调系统及压缩空气、超纯水生产都需要消耗大部分电能。某光电公司2013年一个厂区用电费用为3.3亿元。 　　下图是某光电公司洁净厂房2013年能耗比例图：图示显示：厂区的消耗主要是电消耗，厂区用电主要分4部分：空调系统用电量是占高达25%的比例，每年空调用电耗费接近1个亿。 　　2、 TFT-LCD 洁净间厂房新风机组能分析统计 　　空调部分电力能耗主要是冷冻系统及空调机组能耗，新风机组是耗能主要部分。 根据某光电公司运行数据统计，一台10万风量MAU一年运行费用高达184万元。高净化级别的电子工厂的洁净室为了保证室内的温、湿度和洁净度，其净化空调系统的能耗很高，其单位面积一年的电费就高达680元/?O?年。可见净化空调的运行费用很高，因此，如何节能，如何节省新风系统运行耗电是一个比较有实际意义的课题。 　　三、 新风系统节能控制方案 　　1、 降低送风温度 　　洁净间也有大量的热负荷，导致洁净间的回风温度高于设定的23℃，DCC的会开启电动阀 　　门降温，DDC使用大量的中温水来较低洁净间温度，控制好送风温度和洁净间回风温度混合刚好达到洁净间温度要求而不需要开启DCC，这样的运行方式是最佳的。由于MAU送风温度是由二级加热盘管来控制，在夏季模式下，需要使用二级加热热量，经过洁净间回风混合后还要DCC来冷却降温，大大浪费能源。 　　如果采用降低送风温度进行送风，送风温度从18℃降低到15℃时，1立方米新风量的MAU 　　较低的能量为：Q=3.87KJ，（由焓值图得）。举例说明：目前某光电公司一个洁净工厂新风量大约为60万m3/h，每小时降低能量为232.2万KJ；DCC冷冻水用量与MAU 新风机组再热盘管的热水用量同时减少，所以总能量减少为：464万KJ。由此数据可以看出，降低新风送风温度，可以大大减少能耗，冬季运行效果更加明显。 　　2、 降低洁净间正压 　　净间不受外界的环境影响，需要洁净间正压，保证非洁净区较脏的空气进入洁净间。我国标准规定，不同级别洁净室之间应大于4.9Pa，洁净区与之间应大于9.8Pa。在运行过程中，保持正压可以通过控制新风量或回风量来实现，目前TFL-LCD工厂洁净度要求不一样，正压控制也不一样，绝对压力较高可以保证个区域之间的洁净等级，但是较高