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第八章 货物需求一览表及技术规格 货物需求一览表： 1.1 货物名称及数量 序号 货物名称 数量 单位 备注 一 纳米综合（力学）性能测试仪 1 套 详细配置名称以及数量 序号 详细配置名称 数量 单位 备注 一 纳米综合（力学）性能测试仪 1 套 包括以下部分 1 压痕模块 1 套 2 划痕模块 1 套 3 摩擦学模块 1 套 至少具备横向一个方向的力传感器 4 动态力学模块 1 套 5 定位及成像模块 2 套 光学成像及纳米原位成像模块 6 样品台 1 套 7 环境隔离罩 1 套 防震隔音装置 8 操作软件 1 套 数据采集及处理软件 9 其余配件 1 套 压头及标样 设备用途用于各种材料(块体材料或薄膜材料)的纳米综合（力学性能）的静态或动态测试，包括材料的纳米压痕、纳米划痕、原位扫描成像等力学特性测试。可以提供材料的压痕硬度，弹性模量，蠕变，断裂韧性，摩擦系数，基结合强度，弹性，塑性功，储能模量，损耗模量等参数。还能快速给出材料的硬度与弹性模量随样品深度的变化曲线，可用于研究材料的裂纹特性等。(1) 设备必须采用国际上同行业中先进成熟的设计思想，制造技术。(2) 设备在质量上必须具有优良的品质，即可靠性要高，使用寿命长。(3) 设备必须具有良好的操作性，方便的维修性，可靠的安全性。纳米压痕测试：所加载荷能满足大载荷的力学要求，同时兼顾低载荷时的加载精度要求，如果提供高载+低载的解决方案，要求软件直接切换，无需手动更换硬件）压头总的位移范围(1.5mm *2.3.2最大压痕深度(100(m *2.3.3最大载荷(400mN 2.3.4 高载位移分辨率(0.02nm 2.3.5 最小位移分辨率≤ 0.0002nm 2.3.6 最小位移噪声水平 0.2 nm *2.3.7最小有效载荷(20nN 2.3.8最小载荷分辨率(2 nN 2.3.9最小载荷噪声水平( 50nN 2.3.10仪器框架刚度(3(105 N/m 2.4 纳米划痕/摩擦磨损测试：用于定量测试膜基结合强度（临界载荷）、表面抗划擦能力。可以测试划痕深度、划痕宽度、凸起高度以及材料的粘弹性恢复等力学性能，配备横向力传感器，能同时得到摩擦系数的信息。需要保证划痕过程中法向力垂直于样品表面，不会侧移，对试样表面起伏带来的法向力的变化可以通过反馈进行实时校正，可以追踪试样形貌精准划痕，具备前扫描、后扫描模式，往复磨损模式和连续景深成像和全景成像模式横向力分辨率≤ 2uN 2.4.3横向力的噪音水平 (50 (N 2.4.4 最大横向力≥ 250 mN 2.4.5最大划痕长度≥ 50mm 2.4.6最大划痕力（Z方向）≥ 500 mN 2.4.7最小划痕力（Z方向）≤ 20uN 2.4.8最大划擦深度( 500 (m 2.4.9划痕速度(100(m/s 2.5 动态力学性能测试： *2.5.1 能够进行恒应变速率（dP/dt/P：P是载荷，t是时间）加载过程中硬度、弹性模量和接触刚度的实时测试、实时处理和实时显示能够通过一次压痕获得接触刚度、硬度和弹性模量随压痕深度的连续函数分布*2.5.3 能够在10分钟内完成一个恒应变速率（例如：0.05s-1, 标准试样)控制下的纳米压痕测试，单次压入实验应能获得沿压痕深度方向不少于5000个硬度和弹性模量数据点能够测量材料的储存模量、损耗模量和阻尼（tan(）能够在压入过程中通过反馈系统保持恒定的简谐位移振幅简谐力频率范围: 1 to 300 Hz简谐力振幅范围: 0.1 uN to 4.5 mN纳米冲击和疲劳测试 纳米冲击模式：压头往返振动 最大振动频率200Hz 2.6.3最大振幅10um 2.6.4最大静态载荷500mN 2.7 其它压痕功能断裂韧性测试功能蠕变性能测试功能应力应变测试功能高精度原位3D成像模式设备必须能够提供试样表面压痕前后的原位三维图像X 和Y 扫描范围 (100(m (100(m*2.8.3 Z 方向扫描范围：(100(m 2.8.4 Z 方向分辨率 0.02nm 2.8.5 定位精度≤ 5 nm 2.8.6 表面形貌成像功能接触刚度成像功能光学成像系统显微镜带有位置反馈控制该系统配有高分辨率的彩色CCD和与之匹配的图形采集系统至少配有两个放大倍率分别为10(和40(的物镜屏幕上最高放大倍率(1000(LED光源系统方便观察样品位置和工作面软件控制光源系统和聚焦系统X-Y样品定位台X方向移动范围(200mm 2.10.2 Y方向移动范围(200mm *2.10.3定位精度≤ 1um 2.10.4 定位分辨率≤ 0.1um 2.11