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scrubber专用课件

Page 14 系统图片 系统描述 我们公司的CLEANSORB 产品,在清洁效率和易操作性上与同类产品相比有极高的优越性.在目前在世界上处于领先地位。CLEANSORB 产品对于处理在半导体生产过程中所产生的有害气体例如AsH3, PH3, Cl2,HCl, HF, F2等等有着特别好的效果。我们的产品还有下以下的特性: 1,处理后的气体保证低于国际废气排放标准(TLV) 2,在正常的压力和温度下进行废气处理(最大的安全) 3,消耗很低的能量(最高的效率比) 4,占用较小的空间,并且能达到无尘工作间的标准 5,有两个相同的工作部分,易于对其中的一个进行维护和修理 6,药剂桶有联合国批准的系列号,可安全的用来运送有毒药物 CS065/25/10SC系统的最主要成份是桶内的干式药剂, 桶内可容纳65/25/10公升的各种药剂来吸取不同的气体。吸附的气体与药剂里的矿物质生成化学反应,过后保证不会把气体释放出去。 CSAG 公司经过多年研发的药剂有特大的吸附量。 一般应用在吸收更换气瓶柜的排气方面能够达到至少两年以上的寿命。 CLEANSORB比市面一般的废气处理器的强势是能在电流供应失效时继续操作,大大的减少了保修人员的负担。 系统明细描述 连接材料 阀门符号作用说明: CDA:高压空气。使用于Bypass上的V5气压阀 N2:工业氮气。带动毒气流入吸附器 R1:氮气压力调节阀门。用于氮气流入吸附器的压力调节(建议0.7bar左右) F2:氮气流量调节器。用于氮气流入吸附器的流速调节(建议调至中心线) CV2:分流器。氮气压力过高时安全阀们自动打开释放气体 VP:氮气清洗阀。在更换吸附器时使用氮气清洗吸附器(正常操作时关闭) V1:有毒气进口阀门。用于控制毒气进入吸附器的阀门(正常操作时打开) V2:净化气出口阀门。用于控制净化气排出吸附器的阀门(正常操作时打开) V3:毒气进口抽样阀门。用于检测有无毒气进入吸附器的阀门(正常操作时关闭) V4:净化气出口抽样阀门。用于检测被净化后的毒气含量(正常操作时关闭) V5:旁通管阀门。当更换吸附器时和正常操作下吸附器内压力超标时,旁通阀门自动打开(正常操作时关闭) Q1:80%药剂检测口。用于药剂使用寿命检测,当吸附药剂使用了80%后可以检测含有毒气。 详细内容请参考说明书,若有疑问请联系: 新加坡CS净化股份有限公司常驻中国售后服务部 地址:江苏省无锡市长江路锦江苑6-402 电话:86-510 传真:86-510 手机 联系人: 李军 E-mail:lijun@ * CLEANSORB 废气净化器 项目名称: IVO CLEAN SYSTEMS SINGAPORE * CLEANSORB 废气净化器 项目名称: IVO CLEAN SYSTEMS SINGAPORE CLEANSORB 型号: CS065/25/10SC 产品系列号: CS27074 客户: IVO 应用: 废气净化

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