2-2.T102-R8004科研采购案-招标规范附件规格需求书-国立中央大学.docVIP

採購組S1020620製 國立中央大學科研採購案 規格需求 102年10月18日填寫 採購案號:T102-R8004 一、採購標的 1、中文名稱：成膜監控設備 英文名稱：Laytec EpiTT: True temperature and film thickness in-situ monitor sensor for MOCVD reactors 數量及單位：一套 　　2、規格需求（詳如：附件一）。 3、本案有採購財物單項明細(如附件二：單項明細表)。 二、本採購預算金額：新台幣 2,900,000 元。 　　採購標的■無 □有分項細目，並已註明分項金額。 三、擬決標幣別：■新台幣 □外幣（幣別 　　　 ）。 四、履約期限：■決標次日起或□機關開立信用狀當日起 90 個日曆天內完成交貨 ■並需安裝測試。 □其他：　　　　　　　　　　　　　　　　 (公開招標交貨期限：國內產品建議不少於45個日曆天，國外產品最好不少於75個日曆天) 五、履約金及保固金(□100萬以下得免收) 10 ％ (履約金至多10％以內)。 　　　　　□收取保固保證金 3 ％(保固金至多3％(驗收合格後保固一年) 六、 機械系 ；財產歸屬單位： 機械系 。。 七、付款方式： □1、分 期付款（分期內容 　　　　 ） 2、開狀出貨即付款 □開狀，貨到驗收合格後付款 3、貨到驗收合格後30天內付款或電匯付款　 4、其他：　　　　　　　　　　　 人次或 小時或 日曆天。完成教育訓練後請提供上課記錄表（內容請註明：時間、地點、講師及上課人員），以利驗收及結案事宜。 九、本採購未來 ■否 □需擴充 擴充數量： 擴充期間： ，擴充金額 。 十、本採購 ■否 □有涉及智慧財產權，機關取得■全部權利；(取得授權。 十一、使用紀錄：科研採購所購入設備屬100萬元以上之採購者應製作其使用狀況之書面紀錄，備供查詢，於補助、委託關係存續期間，不得設定負擔或處分。 請購單位： 機械系 規格需求 採購組S1020620製 附件一 採購案號：　T102-R8004　 一、購案名稱：　　成膜監控設備 　　　　　數量及單位：　　一套　　　 二、採購規格內容與功能需求如下： （一）規格內容及（二）功能需求 一種以光學偵測技術監測MOCVD成膜參數之裝置。該裝置可架設於Aixtron G2之MOCVD機台。 MOCVD成膜參數包括晶圓薄膜成長速率與晶圓表面溫度。 該裝置包含 硬體 光學偵測頭 電控裝置(包含光源) 電腦主機 軟體 顯示晶圓表面溫度與反射率，該反射率之變化可換算成為薄膜成長率。 該裝置至少具有950nm 與405nm兩種波長之光源。 可偵測出單面拋光之Sapphire在常溫下950nm波段之標準反射率，讀值不超過0.075 ± 3% 之範圍。 可偵測出單面拋光之Sapphire在常溫下405nm波段之標準反射率，讀值不超過0.078 ± 3% 之範圍。 溫度量測之功能必須以絕對溫度校正儀器(AbsoluT)進行溫度校正。校正後裝置之溫度讀值與絕對溫度校正儀器之標準值差異小於 ±1℃。 光學頭重量 0.5 kg。 光學頭尺寸 55 mm x 105 mm x 155 mm。 （三）廠商資格特別要求　■無／□如下 1、□需請廠商提供具有製造、供應或承做能力之證明（如曾完成類似本案之製造、供應或承做文件如：驗收紀錄等）。 2、□其他：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　。 （四）驗收要求：■否(依本校規定辦理) □是，有其他特殊要求 　　 。 （五）其他需請廠商配合事宜：■無／□如下 附件二： 單項明細表 採購組S1020620製 採購案號：　T102-R8004　　 項目 主、從項目分區 或分項名稱及規格 單位 數量 原產地/單價 單位複價 備 註 1 電腦x 1 主控單元 x 1 光學元件 x 1 set 1 德國/$2,900,000NTD $2,900,000NTD