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薄膜制备技术基础（原著第4版） 作 者：[日]麻蒔立男出版社：化学工业出版出版日期：2009年5月开 本：16开册 数：1册光盘数：0定价：39.8元??优惠价：36元 进入20世纪，书籍已成为传播知识、科学技术和保存文化的主要工具。 随着科学技术日新月异地发展，传播知识信息手段，除了书籍、报刊外，其他工具也逐渐产生和发展起来。但书籍的作用，是其他传播工具或手段所不能代替的。在当代, 无论是中国，还是其他国家，书籍仍然是促进社会政治、经济、文化发展必不可少的重要传播工具。 详细介绍： 第1章薄膜技术? 11生物计算(biocomputing)和薄膜技术? 12医用微型机械? 13人工脑的实现（μElectronics）? 14大型显示的实现? 15原子操控? 16薄膜技术概略? 参考文献? 第2章真空的基础? 21真空的定义? 22真空的单位? 23气体的性质? 231平均速率?Va? 232分子直径?δ? 233平均自由程?L? 234碰撞频率?Z? 24气体的流动和流导? 241孔的流导? 242长管的流导?（L/a≥100）? 243短管的流导? 244流导的合成? 25蒸发速率? 参考文献? 第3章真空泵和真空测量? 31真空泵? 311油封式旋片机械泵? 312油扩散泵? 313吸附泵? 314溅射离子泵? 315升华泵? 316冷凝泵? 317涡轮泵（分子泵）和复合涡轮泵? 318干式机械泵? 32真空测量仪器——全压计? 321热导型真空计? 322电离真空计——电离规? 323磁控管真空计? 324盖斯勒（Geissler）规管? 325隔膜真空计? 326石英晶振真空计? 327组合式真空规? 328真空计的安装方法? 33真空测量仪器——分压计? 331磁偏转型质谱仪? 332四极质谱仪? 333有机物质质量分析IAMS法? 参考文献? 第4章真空系统? 41抽气的原理? 42材料的放气? 43抽气时间的推算? 44用于制备薄膜的真空系统? 441残留气体? 442用于制备薄膜的真空系统? 45真空检漏? 451检漏方法? 452检漏应用实例? 参考文献? 第5章薄膜基础? 51气体与固体? 511化学吸附和物理吸附? 512吸附几率和吸附（弛豫）时间? 52薄膜的生长? 521核生长? 522单层生长? 53外延基板晶体和生长晶体之间的晶向关系? 531外延生长的温度? 532基板晶体的解理? 533真空度的影响? 534残留气体的影响? 535蒸发速率的影响? 536基板表面的缺陷——电子束照射的影响? 537电场的影响? 538离子的影响? 539膜厚的影响? 5310晶格失配? 54非晶膜层? 541一般材料的非晶化（非薄膜）? 542非晶的定义? 543非晶薄膜? 544非晶Si膜的多晶化? 55薄膜的基本性质? 551电导? 552电阻率的温度系数（TCR）? 553薄膜的密度? 554时效变化? 555电解质膜? 56薄膜的内部应力? 57电致徙动? 本章小结? 参考文献? 第6章薄膜的制备方法? 61绪论? 62源和膜的组分——如何获得希望的膜的组分? 621蒸发和离子镀? 622溅射法? 63附着强度? 631前处理? 632蒸发时的条件? 633蒸发法和溅射法的比较(基板不加热情况）? 634蒸发、离子淀积、溅射的比较（加热、离子轰击等都进行情况）? 64台阶覆盖率、绕进率、底部覆盖率——具有陡峭台阶的凹凸表面的薄膜制备? 65高速热处理装置（Rapid?Thermal?Annealing，RTA）? 66等离子体及其在膜质的改善、新技术的开发方面的应用? 661等离子体? 662等离子体的产生方法? 663基本形式和主要用途? 67基板传送机构? 68针孔和净化房? 参考文献? 第7章基板? 71玻璃基板及其制造方法? 72日常生活中的单晶制造及溶液中的晶体生长? 73单晶提拉法——熔融液体中的晶体生长? 731坩埚中冷却法? 732区熔法（Zone?Melting，Flot?Zone,FZ