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浅谈MEMS在光通信及光传感中的应用摘要：随着半导体集成技术以及机械微加工技术的发展，衍生出的MEMS技术正逐步应用到生产生活的各个领域。本文主要介绍MEMS技术在光通信以及光传感中典型应用，MEMS凭借微小易于集成等特点，发挥出在通信及传感领域的独特优势，将成为光通信、光传感以后发展的变革性力量。关键词：MEMS；光通信；光传感Discussion on the applicationsof MEMSinoptical communications and optical sensingSheng-yang Tong（Optical Engineering, Dalian Universit
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