无尘室运转与维护管理.docVIP

无尘室的使用维护管理 摘要：无尘室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度；无尘室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨；无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。 关键词：无尘室 污染源 运转管理 维护保养 一、污染源控制 　　无尘室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源，经测试分析结果，作业人员占约80%，如图1所示。实验数据显示，作业人员进出无尘室时尘埃有显著增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因人是主要因素。 无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等， 图2为微尘粒子的传送路径。 　　对硅芯片而言，微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路，使芯片失去运作功能，因此微污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度，可为设计参考，而在微污染控制，其基本原则有四： 　　1.外部尘埃侵入之防止： 　　无尘室适当之正压保持（0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。 　　2.室内发尘之防止： 　　隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。 　　3.室内发尘之不积留： 　　墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。 　　4.发生尘埃之排除： 　　换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。 　　人、物入室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题，这些问题将于下节祥述。 表1 自然界微尘粒子数 测量地点 微尘粒子数（个/ft3）≥0.5μm 大气层圈 100 田园地区（微风状态） 100，000~300，000 住宅地区 100，000~200，000 办公室（工作中） 200，000~400，000 工业区 400，000~1，000，000 正在吸烟的会议室 600，000~1，000，000 　 ≥0.3μm ≥0.5μm 一般工作服 无尘服 普通作业服 无尘服 白衣形 全覆形 白衣形 全覆形 站立（静姿） 543，000 151，000 13，800 339，000 113，000 5，580 坐下（静姿） 44，800 142，000 14，800 302，000 112，000 7，420 腕上下 4，450，000 463，000 49，000 2，980，000 298，000 18，600 上身前屈 3，920，000 770，000 39，200 2，240，000 538，000 24，200 腕的自由运动 3，470，000 572，000 52，100 2，240，000 298，000 20，600 头的上下运动 1，230，000 187，000 22，100 631，000 151，000 11，000 屈身 4，160，000 1，110，000 62，500 3，120，000 605，000 37，400 踏步 4，240，000 1，210，000 92，100 2，800，000 861，000 44，600 步行 5，360，000 1，290，000 157，000 2，920，000 1，010，000 56，000 　　10.以下之物品不能带进无尘室： 　　a)没有经过清洁过程之器材、零件物品、测定器等各种物品。 　　b)纸箱及未经特别处理之记录或笔记用纸、影印数据等。 　　c)铅笔、橡皮擦、墨水等。 　　d)香烟、化妆品、卫生纸、饮食品等。 　　e)作业员个人用品如打火机、宝石、装饰品、钱包、钥匙、手帕、小日记手册或其它个人物品等。 无尘室洁净度维持之最大控制对象为作业人员，因此对于作业人员之数目、行动状态、进出规则之制定与执行，提高无尘室内作业人之洁净度意识、反复教育，均为必须，表3所示为因作业人员之动作而产生污染的增加倍率。 2.原物料、设备进出管理 除了人员进出无尘室须