沉铜、OSP问题实战解析与研讨____4.ppt

钱学森: 我所说的人才不是一般的人才,而是能够解决重大 问题, 进行重大创新甚至是颠覆性创新的人才. 培养新一代的科技人才须走科学与艺术结合之路: 科学创新的思想火花是从不同领域的大跨度联想 激活的. 科学工作是源于形象思维,而终于逻辑思维. 　　 化缸的成膜提供了基础与保障，在其它参数都符合要的情况下，预浸缸PH值的升高或降低，膜厚随之有明显的变化。 ③、其中对膜厚影响最大的是预浸缸的PH值，故在 实际生产控制中如其它参数在控制范围内，一般 是通过调整预浸缸PH值及行板速度来控制膜厚的 。 氯离子对微蚀速率的影响因素之研究 1、背景： ①、微蚀药水： 殷田YT-33R系列； ②、测试设备： 烧杯实验（如使用OSP设备做实验效果 就更佳）； ③、测试方法： 　Ａ、使用１０ＣＭＸ１０ＣＭ的覆铜板； 　Ｂ、采用称重计算微蚀速率。 2、曲线图： 0 0.3 0.5 1 2 4 8 16 （３７％ＨＣＬ，mm/L） um/min 3、小结： 氯离子对微蚀的速率影响非常明显，从曲线图 可以看出： ①、当ＨＣＬ的浓度从０－０.３mm/L递增时， 　　微蚀速率呈明显递减； ②、当ＨＣＬ的浓度从０.３－２mm/L递增时， 　　微蚀速率变化不大； ③、当ＨＣＬ的浓度从２－１６mm/L递增时， 　　微蚀速率呈明显递增，但始终比没有添加 　　ＨＣＬ要小。 膜厚不均、膜面发紫不良 发紫不良图片 膜面发紫 １、铜面局部受到药水污染，或停放时间太长，而导 　　致铜面严重氧化，在做ＯＳＰ时，微蚀无法将氧 　　化层清除干净，影响上膜效果，出现局部膜薄或 　　不上膜，从产生发紫不良，预防改善措施如下： 　①、未做抗氧化的板须存放在专用的板架上，禁止 　　　放在地板上，以防止药水溅落在板面上造成污　 　　　染； 　②、合理安排生产计划，在抗氧化车间的板，在一 　　　周内必须安排做完ＯＳＰ； 成因及预防改善措施 　③、如发现铜面严重氧化的板，可以先过酸洗幼磨 　　　将氧化层清除干净后再做ＯＳＰ； ２、上膜后受到酸液等污染，膜面遭到破坏，譬如： 　　抗氧化缸后面的水洗缸未及时保养、酸度过高， 　　板子放在地面上受到药水的污染等，预防改善措 　　施如下： 　 ①、按照ＭＥＩ要求做足保养（更换棉芯、水洗　　 　　　槽，清洁行辘、缸壁等）； 　②、做完ＯＳＰ的板须即刻放进检板房，同时避免 　　　将板子放在地面上等低处。 ３、因微蚀浓度过低、喷嘴堵塞、或微蚀液受污染、 　　老化等而导致的膜面发紫，预防改善措施如下： 　①、做好千尺补料，及时化验，防止浓度失调； 　②、及时换缸，防止药水老化； 　③、使用专用的补料器具，防止药水的交叉污染， 　　　特别是要防止氯离子污染微蚀药水； 　④、做好日常保养，检查喷嘴有无堵塞，如有须清 　　　理ＯＫ后再行生产。 ４、因预浸液浓度失调、喷嘴堵塞、或预浸液受污染、 　　老化等而导致的膜面发紫，预防改善措施如下： 　①、做好千尺补料，及时化验，防止浓度失调；其 　　　中提高ＰＨ值及ＰＣ－１０３０的浓度，是提 　　　高膜厚，改善发紫不良最简便有效的方法； 　②、及时换缸，防止药水老化； 　③、使用专用的补料器具，防止药水的交叉污染， 　　　特别是要防止氯离子污染微蚀药水； 　④、做好日常保养，检查喷嘴有无堵塞，如有须清 　　　理ＯＫ后再行生产。 ５、因抗氧化缸药水浓度失调、ＰＨ偏低、总酸度过 　　高，或槽液老化等而导致的膜面发紫，预防改善 　　措施如下： 　①、做好千尺补料，及时化验，防止浓度失调，尤 　　　其是对ＲＡ及ＰＨ值的控制，另ＲＣ也要按时 　　　进行补加； 　②、及时换缸，防止药水老化； 　③、使用专用的补料器具，防止药水的交叉污染， 　　　特别是要防止氯离子污染微蚀药水。 ６、因抗氧化返工板退膜不净导致的膜面不良： 　①、禁止做完ＯＳＰ的板进行高温烤板后再返工； 　②、控制好退膜速度与退膜液的浓度，批量返工须 　　　走机退流程，不能采用手动退膜，且要做好首 　　　的监控，ＯＫ后方可批量返工； 　③、退膜后过一次幼磨（软刷）后再做ＯＳＰ。 ＰＡＤ位脏污不良、局部色差不良 １、ＢＧＡ位脏污不良： 　 ①、不良图片： 　污物从ＶＩＡ孔中流出 并沾覆到ＢＧＡ上面 　塞孔油墨中出现葫芦状的坑洞， 此凹坑中极易藏药水、污物等 ②、不良成因： 　因此板本身的设计比较特殊，板厚较厚（２.５ＭＭ），ＢＧＡ位处０.３ＭＭ的ＶＩＡ孔要求绿油塞孔且单面开窗，故板子在过水平线时，此ＶＩＡ孔中很易藏药水、污物，