有机蒸镀设备-东南大学.doc

东南大学化学化工学院金属蒸镀设备、有机蒸镀设备、旋涂用手套箱、蒸镀用手套箱采购招标公告 项目名称： 标段一：化学化工学院金属蒸镀设备、有机蒸镀设备采购 标段二：化学化工学院旋涂用手套箱、蒸镀用手套箱采购 项目地点: 东南大学九龙湖校区 项目概况： 标段一： （一）化学化工学院采购金属蒸镀设备1台 1.技术参数： 真空度:极限真空可达10-5Pa，工作真空度8*10-4Pa 样品架：可旋转，高度可调，距离蒸发源高度范围150-250mm，基底加热RT-300oC, 控温精度小 蒸发源：金属蒸发源4个，最好能旋转，可蒸发Au， Ag， Al，Cr，Pt等金属 金属蒸发源可调节至正对样品架中心以利于金属以直入射方式沉积到基片 密闭性高 膜厚控制设备：膜厚探头2个，膜厚仪2个 样品和蒸发源均配备挡板装置 2.配置 2.1真空沉积腔体：具有观察窗，手动开门设置方便取样和进样 2.2金属蒸发源4套：蒸发电极可加载蒸发舟或者钨篮，要求中心电极正对样品基底中心，蒸发源挡板。蒸发电源1套或者2套，可切换 2.3金属蒸发源可选择性配置2个以及相应的挡板，金属材料可斜入射到达样品架，蒸发源温度最高要求可达500oC，控温精度1度。蒸发电源最好能直接显示温度数字，并含升降调控。能实现半导体薄膜制备 2.4机械泵1个，分子泵1个以及相应的附件，分子泵水冷系统 2.5升降样品架 2.6真空测量系统 2.7膜厚测试系统 2.8工作台：含真空计，蒸发源电源和相应控制系统，加热源控制系统，膜厚测量系统，总电源控制区 （二）化学化工学院采购有机蒸镀设备1台 设备功能用途 该有机镀膜系统是用于有机电致发光工艺研究、有机照明器件工艺研究、有机太阳能电池工艺研究和有机半导体工艺研究的最佳设备，工作效率高，具有事半功倍的效果。 2. 主要技术指标 2.1真空抽气系统：由KYKY600L/S涡轮分子泵和DM4L/S机械泵，复合数字真空计，SD电磁隔断/充气阀，防油充气阀，压力表和波纹管管道等组成，本底极限真空度达到5×10-5 Pa。 2.2 旋转基片架：可放置4个20×25基片，做出4种不同的基片试样。 2.3 掩膜板：基片与掩膜板间的间隙为0，同时在线更换。 2.4 水冷膜厚探索头：放在基片架上4个基片的中心，对使用任一个蒸发源和对任何一个基片，其测量精度都是相同的。 2.5有机控温式坩埚蒸发源：寿命长达800-1000小时以上，实际可用4-5年勿需维修。保温好，控温性能优越，操作方便。 2.6 频率计：共用4套频率计（含晶振器）在线测量膜厚。 2.7侧拉门：规格20 5×280 ，门上有两个玻离观察窗。 2.8照明灯：2 个 2.9电气机柜：1 台 标段二： （一）化学化工学院采购旋涂用手套箱1台 1）旋涂用手套箱箱体 材料：304 不锈钢，厚度 3mm 内表面：不锈钢拉丝处理 外表面： 喷漆，白色 内部尺寸： 长度： 2440mm ，深度：750mm；高度： 900mm 前窗： 倾斜的视窗，透明钢化安全玻璃，厚度8 mm 手套口：材料为聚甲醛，O型圈密封 手套： 丁基橡胶，直径 8”，长度32” 过滤器 ： 规格 0.3 微米，1个气体入口和1个气体出口 搁物架： 不锈钢材料，内置2层 箱体照明：荧光灯，安装在每块玻璃窗前上方 接口： 备用接口6个， DN 40 KF，电源接口 2 个 （220V） 2) 大过渡舱 尺寸：直径 360mm，长度 600mm 材料：304不锈钢 表面：内表面为拉丝处理，外表面喷漆 附件：滑动托盘：304不锈钢 舱门：双门，阳极氧化铝材料，厚度 10mm，竖直操作，带提升机构 压力表：模拟显示 控制：电磁阀触摸屏自动操作 3) 小过渡舱 尺寸：直径 150mm，长度300mm，进入旋涂用手套箱部分长度100 mm 材料：304 不锈钢 表面：内表面为拉丝处理，外表面喷漆 舱门：双门，螺纹锁紧 压力表：模拟显示 控制：手动阀手动操作 4）气体净化循环系统 净化柱 功能：气体密闭，除水、除氧 容器材料：304不锈钢 净化材料：铜触媒、分子筛 水氧指标：小于1ppm 循环系统 工作气体：氮气、氩气 循环能力：集成风机流量90m3/h，加装变频 再生 操作：PLC自动控制再生过程 再生气体：工作气体与氢气混合气体，(氢气5-10%) 真空泵 规格：8m3/h，旋片泵，带油雾过滤器 ，气振控制 阀门 主阀：DN 40 KF ，电气动角阀 控制阀：电磁集成阀 (不锈钢集成阀座，单柱为六个阀集成) 5）控制系统： 功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能；自动控制、循环控制、密码保护。 压力控制： 控制箱体、过渡舱的压力，箱体工作压力+/- 10mbar内可以自由设定，超出+/- 12mb