激光干涉仪在线性测长上的应用选读.ppt

检测步骤 1.安装激光干涉仪 2.对光 3.生成检测程式 4.开始检测反向间隙 5.数据分析 6.补正反向间隙 7.开始检测丝杆螺距误差 8.数据分析 9.补正丝杆螺距误差 10.验证补正的效果 1.硬件组成及连接 1.2三脚架 1.2.1云台调整架 高度调整 水平平移调整 角度偏转偏转调整 角度俯仰调整 1.3.1线性测量镜组 分光镜 两个线性反射镜 两个光靶以助于光学准直 1.3.2镜组安装组件 1.4环境补偿单元 1.4.1 空气温度及材料传感器 1.4.2 XC补偿单元端面 1.5 传感器的符号 2.立式加工中心对光 2.1 X、Y轴对光示意图 2.2 Z轴对光示意图 2.3 光束路径图 2.4影响检测精度的因素 1.环境温度 2.材料系数 3.余弦误差 4.死程误差 5.阿贝偏置误差 2.4.1死程误差 消除死程误差 2.4.2余弦误差 消除余弦误差的方法 2.4.3阿贝偏置误差 3.生成检测程式 3.1laserxl软件界面介绍 定义测量目标 3.2出现以下对话框 3.3 以TC-510的Y轴为例 3.4 保存文件 3.5系统选择和设定 3.6各选项名词解释 名词解释： 程序号：该程序的序号 轴名：待校准轴的名称 这里记住是大写 运行次数：我们希望该程序运行多少次 选择方向：在轴上行走的方向是一来一回的间隔点还是只去这样走回时不走 暂停周期：等待软件记录数据的时间，这里要根据电脑的性能作调整 越程：这里是为了消除反向间隙而设置的，一般选择默认，也可以自行设置 零件程序类型：选择运行的方式，因为我们是走直线的所以我们选择线性 进给量：机床运动的速度 轴方式为：普通 3.7程式的传送 点击上面的确定之后得到一个测试用的程式，利用CF卡传送到机床上就可以使用了 不过这个程式一般很长，我们一般利用宏程式来编一个，下面给出TC-510三菱系统的线性测长程式 3.8.1三菱系统的线性测长程式 X轴 N10G40G91G28X0. N20#500=0 N30G01X-1.F1000 N40X1. N50G04X3.4 N60M01 N70IF[#500GE25]GOTO120 N80G91X20. N90G04X3.4 N100#500=#500+1 N110GOTO70 N120G91X1. N130X-1. N140G04X3.4 N150IF[#500LE0]GOTO200 N160G91X-20. N170G04X3.4 N180#500=#500-1 N190GOTO150 N200M99 % 3.8.2西门子828D的检测程式 4.反向间隙的检测 4.1数据采集目标设定①②③界面 4.2数据采集①目标设定 4.3数据采集②采集数据启动 4.4数据采集③标题信息 4.5数据采集④自动采集数据设定 4.6 数据记录界面 5.分析数据 5.1分析数据-误差补偿图表 5.2三菱与西门子补偿图表对照 5.3分析出来的补偿数值（三菱） 5.4西门子分析出来的补正数值 6.补正反向间隙 6.1三菱的反向间隙 6.3西门子的反向间隙补正 7.检测螺距误差 7.1.1三菱系统的误差补偿参数 7.1.2.a清机床的螺距补偿数值x轴 7.1.2.b清机床的螺距补偿数值Y轴 7.1.2.c清机床的螺距补偿数值z轴 7.2.1西门子螺距补偿相关参数说明 7.2.2西门子清螺距补偿数值 7.2.3最大补偿的点数 8.分析数据 8.1分析机床的定位精度 8.2.1分析补偿数据（三菱） 8.2.2分析补偿数据（西门子） 9.补正螺距误差 9.1螺距误差数值补偿参数（三菱） 9.2螺距误差补偿程式（西门子） 9.3补偿程式调出并修改数值 9.4运行程式进行补正 9.4螺距误差补偿有效 10.验证补正效果 最后的几个注意点及技巧 THE END Y轴 N10G40G91G28Y0. N20#500=0 N30G01Y1.F1000 N40Y-1. N50G04X3.4 N60M01 N70IF[#500GE20]GOTO120 N80G91Y-20. N90G04X3.4 N100#500=#500+1 N110GOTO70 N120G91Y-1. N130Y1. N140G04X3.4 N150IF[#500LE0]GOTO200 N160G91Y20. N170G04X3.4 N180#500=#500-1 N190GOTO150 N200M99 % Z轴 N10G40G91G28Z0. N20#500=0 N30G01Z1.F1000 N40Z-1. N50G04X3.4 N60M01 N70IF[#500GE18]GOTO120 N80G91Z-20. N90G04X3.4 N100#500=#500+1 N11