空气洁净技术第一章绪论选读.ppt

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洁净制药车间 实验动物房 ICU烧伤病房 从两个方面看: 涉及到多个领域:微电子、宇航、精密仪表及微机械加工、光学、制药、医疗器械及移植装置制造、卫生、生物工程、纯化学试剂制造、食品等行业 ; 当代科学实验和生产活动对空气洁净程度的要求越来越高。 加工精密化 产品微型 产品高纯度 产品的高可靠性 芯片的成品率对空气洁净度的要求(以随机存储器DRAM为例):256 K要求0.5 μm 100级(3.5个/L),容量越高要求洁净度越高,4 G要求0.1 μm 0.1级(0.0035个/L) 美国医学研究所的报道 美国医学研究所2000年《是人就会犯错误》报告中指出:每年大约有44000到98000名美国人死于医院的失误,人数比因车祸死亡的还要多,而医院的主要失误之一就是传播细菌,引起感染。 空气洁净的概念 洁净空气与空气净化 “空气洁净”可以从两个关联的方面来理解,一是空气净化,表示空气洁净的“行为”;二是指干净空气所处的洁净“状态”。 空气洁净的目的:是使受到污染的空气被净化到生产、生活所需的状态,或达到某种洁净度。 空气洁净度:一定体积或一定重量空气中所含污染物质的粒径、数量或重量来表示。 空气净化的概念:采用某种手段、方法和设备使被污染的空气变成是洁净的空气。 洁净室与洁净技术的概念 洁净室(区)(Cleanroom) 指空气悬浮粒子浓度、含菌浓度受控的房间(限定的空间),房间(空间)的建造和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留粒子(包括尘粒和菌粒)等,房间(空间)内其他相关参数如温度、相对湿度和压力按要求进行控制,洁净区可以是开放式或密闭式,可以位于或不位于洁净室内。 空气洁净技术 洁净室污染控制技术及为创造污染程度受控的工作环境所采取的所有方法,包括预防性措施。 空气洁净度等级 空气洁净度等级 空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度,通常空气中含尘浓度高则空气中洁净度低,含尘浓度低则空气洁净程度高。 国际标准ISO14644-1洁净度等级共分9级,ISO Class 1~9级 国际标准ISO14644-1洁净度等级计算: 算 例 洁净室的三种状态 按照洁净室(区)的空气洁净度级别状态所达到空气洁净度级别处于的状态分三种: 空态(as-built):设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员。 静态(as-rest):设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无人员。 动态(operational):设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状况下进行工作。 空气洁净技术的发展历史 空气洁净技术的由来 20世纪20年代,美国航空业的陀螺仪制造过程中最先提出了生产环境的洁净要求,为消除空气中的尘埃粒子对航空仪器的齿轮、轴承的污染,建立了“控制装配区”。美国一家导弹公司发现,在普通车间内装配惯性制导用陀螺仪时平均每生产10个产品就要返工120次,当在控制空气中的尘粒污染的环境中装配后,返工率可降低至2次;在无尘与将空气有尘粒达1000pc/m3(平均直径为3μm,pc为粒子个数的缩写)的环境中装配转速为12000r/min的陀螺仪轴承进行对比,产品使用寿命竟相差100倍。 20世纪50年代初,高效空气粒子过滤器HEPA在美国问世 。美国在军事工业和人造卫星制造领域建立了一些洁净室;日本从20世纪50年代开始在半导体制造工厂中应用空气洁净技术;前苏联也在同时期编制了所谓“密闭厂房”典型设计。 20世纪60年代初,利用工业洁净室进行那些要求无菌环境的实验。 从20世纪70年代初,诞生了现代的生物洁净室,如在制药工业、化妆品工业、食品工业和医疗部门的手术室、特殊病室以及生物安全等方面的推广应用 。 空气洁净技术的发展 集成电路的线宽已从几微米发展到现今的0.1μm左右。以集成电路的微型化为例,它对空气中受控粒子粒径从0.3~0.5μm的要求发展到空气中受控粒子的粒子尺寸要求控制在0.05μm甚至更小,产品的微型化正不断对空气洁净技术提出更严格的要求。 20世纪60年代,空气洁净技术在美国、欧洲等国家产品生产和科学实验活动的需要得到了广泛应用。 20世纪60年代后期,在工业洁净室的基础上发展了生物洁净室。 20世纪80年代,电子厂房洁净开始大发展。 主要的洁净室标准年表 G M P(Good Manufacturing Practice ) 药品在制造过程中由于受到微生物尘粒等污染或交叉感染,可能会引起预料不到的疾病或危害。1965~1966年间,瑞典曾发生甲状腺药片沙门杆菌污染事故,突发性沙门杆菌患者多达206人。混药与交叉污染对药品质量的危害和严重后果是十分明显的,这种危害随药品品种和污染类型的不同而有所不同,对青霉素类等

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