微机电论文概要.doc

微机电系统设计与制造 姓 名 吕东洋 班 级 机电131 学 号 2013113042 指导教师 范梅花 2016年12月19日 电除尘器微机自动控制高低压供电装置 摘要 微机电系统（MEMS,即Micro Electro Mechanical System）与微电子学、信息学、材料科学和纳米技术等密切相关，具有体积小、精度高、重量轻、性能可靠稳定、能耗低、灵敏度高、工作效率高，以及多功能智能化和适于大批量生产，成本低廉等一系列优点，有巨大的应用前景和经济效益，被公认为21世纪的重点发展高科技前沿学科。本书主要从普及的角度介绍微机电系统及其相关技术，全书共分为，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面，包含了微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节；微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理；先进的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术；多种设计手段和实用软件。 关键字:传感器 加工 信息 一、概 述 GH-（V）型电除尘器微机自控高压供电装置是GH-III电除尘器微机自控装置的升级换代产品，它不仅保留了原GH-III型产品先进控制模式，还采用了先进的单片机和液晶汉字显示，其具有如下特点： 控制部分采用了先进的INTEL80C196KC单片机和外围芯片，具有功能强、结构简单、可靠性高等优点。 根据电场中电压电流波形变化的分析，能非常准确地判断闪络，并作出最佳的处理，闪络处理上采取了下降幅度小，回升速度快，不封锁可控硅的方法，能向电场提供最大的有效电晕功率。 提供多种供电运行方式，可满足各种不同工况条件的要求。 操作使用方便，设备的开机，停机，参数显示，参数设定，运行方式的变换都可通过操作面板上键盘实现。 采用液晶显示屏，可方便地用汉字显示各种参数名称和参数值，使参数显示直观、明了。 保护功能完善，具有十一种故障保护和报警功能。 具有RS485通讯接口，可方便地实现远程控制。 二、使用条件 1．制柜使用的环境温度为0~40℃。高压硅整流变使用的环境温度为不高于+40℃，不低于变压器油所规定的凝点温度。 2．空气最大相对温度不超过90%（在相当于空气温度20±5℃时）。 3．设备周围的气体应无导电尘埃和含有腐蚀金属或绝缘材料的气体或蒸气存在。 4．无爆炸性危险的环境，控制室周围无剧烈震动和冲击，垂直倾斜度不超过5%。 5．交流电压符合以下规定：波形为正弦波，频率为50Hz，其波动范围不超过±2%，电压为380V，其幅度变化不超过±5%，瞬时波动范围不超过±10%。 6．除尘器接地电阻值小于2Ω。 三、主要技术参数 1．输入/输出参数 GH-(V)型电除尘器高压微机控制电源输入/输出参数表 GH-(V)型电除尘器微机控制电源输入/输出参数一览表 序号 输入/输出 参数 设备容量 交流输入 电压 (V) 交流输入 电流 (A) 直流输出 电压 (KV) 直流输出 电流 (A) 直流输出 功率 (KW) 交流视在 功率 (kVA) 1 0.2A/(60-72)kV 380 45/54 60/72 0.2 12/14 18/20 2 0.4A/(60-72)kV 380 90/108 60/72 0.4 24/29 34/41 3 0.6A/(60-72)kV 380 135/162 60/72 0.6 36/43 51/62 4 0.8A/(60-72)kV 380 180/216 60/72 0.8 48/58 68/82 5 1.0A/(60-72)kV 380 225/270 60/72 1.0 60/72 86/103 6 1.2A/(60-72)kV 380 270/325 60/72 1.2 72/86 103/123 7 1.4A/(60-72)kV 380 316/379 60/72 1.4 84/101 120/144 8 1.6A/(60-72)kV 380 360/433 60/72 1.6 96/115 137/165 9 1.8A/(60-72)kV 380 405/486 60/72 1.8 108/140 154/185 10 2.0A/(60-72)kV 380 450/540 60/72 2.0 120/144 172/206 2．调节整定参数 mA：