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第二章生物电极和医学传感器 压电式传感器 光学传感器 生物传感器 压电式传感器 压电式传感器 压电式传感器是一种有源型传感器,其工作原理是以某些物质的压电效应为基础的。当这些物质材料表面受力作用变形时,其表面会有电荷产生,从而实现非电量转换为电量,完成传感器的功能。 由于压电传感元件是力敏感元件,所以可以用来测量力,也可以测量其他与力相关的参数,如加速度、位移等。 压电式传感器在医学仪器的典型应用是超声诊断仪, 后面章节会重点讲述。 压电式传感器 压电效应 压电式传感器 压电晶 体 石英晶体的压电特性 石英晶体是单晶体结构,其形状为六角形晶柱,两端呈六棱锥形状,石英晶体各个方向的特性是不同的。在三维直角坐标系中,z轴被称为晶体的光轴。沿光轴z方向施加作用力则不产生压电效应。经过六棱柱棱线,垂直于光轴z的x轴称为电轴,把沿电轴x施加作用力后的压电效应称为纵向压电效应。垂直于光轴z和电轴 x的y轴称为机械轴。把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为横向压电效应。 若从石英晶体上沿y方向切下一块如图所示的晶体片,当在电轴x方向施加作用力时,在与电轴x垂直的平面上将产生电荷Qx,其大小为 石英晶体的压电特性 若在同一切片上,沿机械轴y方向施加作用力Fy,则仍在与x轴垂直的平面上将产生电荷,其大小为 电荷Qx和Qy的极性±由受压力还是拉力决定。有上式知道Qx的大小与晶体片几何尺寸无关,Qy则与晶体片几何尺寸有关 。 为了直观地了解石英晶体压电效应的机理和其各向异性的原因 , 将一个石英晶体的单元体图示表示在下如图所示中,构成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子2O2-分别用符号 ‘+’和 ‘-’表示,等效为图(a)中的正六边形排列。垂直于x轴的平面为A和B平面。 石英晶体的压电特性 当石英晶体未受外力作用时,带有四个正电荷的硅离子和带有2*2个负电荷的氧离子正好分布在正六边形的六个顶角上,形成三个大小相等,互成 120°夹角的电偶极矩P1,P2和P3,如图(a)所示。此时,正、负电荷中心重合,电偶极矩的矢量和等于零,即P1+P2+P3=0,电荷平衡,所以晶体表面不产生电荷,即呈中性。 当石英晶体受到x轴方向压力时,将产生上下压缩变形,正、负离子的相对位置随之变动,如图(b)所示。硅离子(1)被挤向氧离子(2)和(6)之间,氧离子(4)被挤向硅离子(3)和(5)之间,使电偶极矩在x轴方向的分量P1+P2+P30,电偶极矩的矢量和方向向下,结果上负下正,表面A上呈负电荷,B表面呈正电荷。如果在x轴方向施加拉力,结果A和B表面上电荷与图(b)所示相反。这种沿x轴施加力,而在垂直于x轴的晶体表面上产生电荷的现象,就是所说的“纵向压电效应”。 当石英晶体受到y轴方向压力时,如图(c)所示。晶体左右压缩变形。电偶极矩在 x轴方向的分量P1+P2+P30,即电偶极矩的矢量和方向向上,结果上正下负,表面A上呈正电荷,B表面呈负电荷。这种沿y轴施加力,而仍在垂直于x轴的晶体表面上产生电荷的现象,被称为“横向压电效应”。如果在y轴方向施加拉力,结果在A、B表面上产生与图(c)所示相反的电荷。 石英晶体的压电特性 当石英晶体在z轴方向受力作用时,由于硅离子和氧离子是对称平移,正、负电荷中心始终保持重合,电偶极矩在x、y方向分量不变,仍为零。 所以晶体表面无电荷出现,因而沿光轴z方向施加力,石英晶体不产生压电效应。如图所示为石英晶体切片在x轴和y轴方向受拉力和压力的不同效果。图(a)是在x轴方向受压力,图(b)是在x轴方向受拉力,它们的电荷积累极性相反。图(c)和图(d)是在y轴方向分别受压力和拉力,所产生电荷相反。 压电陶瓷的压电特性 压电陶瓷是人造多晶体,其压电机理与石英晶体不同。压电陶瓷材料内的晶粒有许多自发极化的电畴。在极化处理以前,各晶粒内电畴排列方向是任意的,使得自发极化的作用相互抵消,陶瓷内极化强度为零,压电陶瓷的极化过程如图所示。 当在陶瓷上施加外电场时,电畴自发极化方向转到与外加电场方向一致,产生极化。压电陶瓷具有一定极化强度。当外电场撤销后,各电畴的极化在一定程度上仍按原外电场方向取向,陶瓷的极化强度并不完全恢复到自发状态,而是存在剩余极化后的束缚电荷强度。 压电陶瓷的压电特性 经过极化处理的压电陶瓷具备压电效应。陶瓷片经极化的两端出现束缚电荷,一端为正,另一端为负,如图所示。由于束缚电荷的作用, 在压电陶瓷片的极化两端很快吸附一层来自外界的自由电荷,这时束缚电荷与自由电荷数值相等,极性
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