100CXI真I空维修案例一张康2016.pptVIP

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JEM 100 CX II真空系统 维修案例一 张康 2016.3.2 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 目录 一、JEM 100 CX II真空系统简介 二、故障描述 三、排查过程 四、维修过程 五、总结 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一、JEM 100 CX II真空简介 JEM 100 CX II真空系统包含机械泵两台,油扩散泵两台(循环水系统),空压机一台,皮拉尼规四个,缓冲罐两个,电磁阀若干,真空管及接口若干。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 主要参数: 真空度要求:10-5Pa 空压机压力:3-5kg/cm2 机械泵:10-3Pa 扩散泵10-2——10-7Pa(冷阱可进一步提高真空度和抽气速率,可选) 皮拉尼规真空度:10-2Pa——10-5Pa Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 正常抽气流程 第一阶段:初始阶段 1.打开循环水和电源后,空压机首先开始工作; 2.空压机压力达到3.8kg/cm2后,机械泵开始工作; 3.V11,V24,V14,V16指示灯亮,表示RP1,RP2正在抽缓冲罐1,缓冲罐2,底片室,样品交换仓; 4.同时A面板DP灯亮,表示DP处于加热状态。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第二阶段:粗抽阶段 1.V14切换至V25,V10亮,表示RP2开始抽镜筒粗真空,V11,V24,V16继续亮,表示RP1持续抽DP1,DP2前级真空; 2.至A面板HIGH灯亮为止,表示镜筒, DP,皮拉尼规前级真空均已抽好,且DP加热完毕,将开始细抽。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第三阶段:细抽阶段 1.自HIGH灯亮开始,表示 DP开始细抽镜筒真空。 2.V8,V7,V23灯亮,表示DP2正在抽观察室,DP1正在抽镜筒和阳极室。 3.最后亮的灯是V4,V1以及A面板READY,表示整个真空系统抽气过程完毕,镜筒处于高真空状态,可以开始加高压。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 二、故障描述 1.开始的故障是真空抽得比较困难,比平时时间延长很多,且时能抽上时不能。 2.空压机压气效率下降且有较大噪声。 3.逐渐发现电磁阀处有放气的声音,且越来越大。 4.完成初始抽气阶段后,一直停在V10灯亮这一步,无法继续向下进行。 5.放气现象越来越严重,起初以为是镜筒主动放气,后发现放气速率渐渐大过空压机压气速率,当空压机压力小于3kg/cm2时,机械泵停止工作,整个真空系统停机。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 初步判断 总体描述:真空系统启动困难,粗真空抽不上,但DP加热正常,表示前级压力无法达到要求—— 但无法判断是下列问题的哪一种: 空压机压缩效率问题 机械泵抽气效率问题 V7,V8,V23阀门问题 皮拉尼规探头问题。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET

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