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JEM 100 CX II真空系统维修案例一
张康
2016.3.2
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目录
一、JEM 100 CX II真空系统简介
二、故障描述
三、排查过程
四、维修过程
五、总结
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一、JEM 100 CX II真空简介
JEM 100 CX II真空系统包含机械泵两台,油扩散泵两台(循环水系统),空压机一台,皮拉尼规四个,缓冲罐两个,电磁阀若干,真空管及接口若干。
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主要参数:
真空度要求:10-5Pa
空压机压力:3-5kg/cm2
机械泵:10-3Pa
扩散泵10-2——10-7Pa(冷阱可进一步提高真空度和抽气速率,可选)
皮拉尼规真空度:10-2Pa——10-5Pa
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正常抽气流程
第一阶段:初始阶段
1.打开循环水和电源后,空压机首先开始工作;
2.空压机压力达到3.8kg/cm2后,机械泵开始工作;
3.V11,V24,V14,V16指示灯亮,表示RP1,RP2正在抽缓冲罐1,缓冲罐2,底片室,样品交换仓;
4.同时A面板DP灯亮,表示DP处于加热状态。
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第二阶段:粗抽阶段
1.V14切换至V25,V10亮,表示RP2开始抽镜筒粗真空,V11,V24,V16继续亮,表示RP1持续抽DP1,DP2前级真空;
2.至A面板HIGH灯亮为止,表示镜筒, DP,皮拉尼规前级真空均已抽好,且DP加热完毕,将开始细抽。
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第三阶段:细抽阶段
1.自HIGH灯亮开始,表示 DP开始细抽镜筒真空。
2.V8,V7,V23灯亮,表示DP2正在抽观察室,DP1正在抽镜筒和阳极室。
3.最后亮的灯是V4,V1以及A面板READY,表示整个真空系统抽气过程完毕,镜筒处于高真空状态,可以开始加高压。
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二、故障描述
1.开始的故障是真空抽得比较困难,比平时时间延长很多,且时能抽上时不能。
2.空压机压气效率下降且有较大噪声。
3.逐渐发现电磁阀处有放气的声音,且越来越大。
4.完成初始抽气阶段后,一直停在V10灯亮这一步,无法继续向下进行。
5.放气现象越来越严重,起初以为是镜筒主动放气,后发现放气速率渐渐大过空压机压气速率,当空压机压力小于3kg/cm2时,机械泵停止工作,整个真空系统停机。
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初步判断
总体描述:真空系统启动困难,粗真空抽不上,但DP加热正常,表示前级压力无法达到要求——
但无法判断是下列问题的哪一种:
空压机压缩效率问题
机械泵抽气效率问题
V7,V8,V23阀门问题
皮拉尼规探头问题。
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