工程与生活沈志雄老师-金-国立彰化师范大学.ppt

Post-process Design of CIC (2) Post-process of CIC Materials for CMOS MEMS I. MEMS Infrared Sensors II. 熱型加速計 利用TSMC0.35um CMOS製程中的不同材料來製作出熱電堆的感測元件。 熱電堆元件在CMOS製程製作新式熱型加速度計的2-D層次圖。 首先在矽基材上長出一層Field Oxide，利用CMOS製程 2P4M的n+ Poly和Al或p+ Poly來製作成熱電偶。 830mm 1100mm 圖二\、蝕刻窗SEM圖 圖一、加熱器微結構 圖三、新穎2D的熱型加速計元件尺寸側視圖 260mm III. 1 CMOS MEMS FET感測晶片 離子感測場效電晶體(ISFET): 一氧化碳氣體感測晶片 - N型多晶矽(N-poly Silicon)當微型加熱器電阻 - P型多晶矽(P-poly Silicon)在感測薄膜上再加熱成長一層薄氧化層,一氧化碳的感測薄膜, - SnO2溶膠-凝膠法(Sol-Gel)滴附在感測薄膜上偵測CO氣體 差動放大器電路介面電路技術與設計 - TSMC 0.35μm之CMOS 2P4M 標準製程以及後製程製作 * * * * 微小光機電的新科技生活 國立彰化師範大學 機電工程學系 沈志雄 副教授 世界是大還是小 Tuesday, October 15, 2002 科學家借助多種方法對英仙臂進行測量﹐有的認為有６０００多光年﹐有的說有１萬多光年﹐這一精確測量解決了長期爭論。 林肯號 大小：艦長約333 公尺，甲板寬約77 公尺 金原子的直徑 0.3奈米 6000光年 =5.4 1020 公尺 0.3 奈米 =3 10-10 公尺 科學家在做些什麼 光機電系統整合 微機電元件 半導體 光機 Process ■ Microdisplay Microdisplay Microdisplay technology for incorporation into the Strike Helmet The U.S. Air Force has selected eMagin Corporations OLED microdisplay technology for incorporation into the Strike Helmet 21 system that uses the Integrated Panoramic Night Vision Goggles in avionics helmets.The Strike Helmet 21 system is targeted for integration into F-15E aircraft by the 2003-2004 time period.Now that we have moved beyond the RD stage for our initial microdisplay products, much of which was supported by US military research contracts, we continue to work closely with military contractors and customers, said Gary Jones, president and CEO of eMagin. Of the first more than 40 potential customers to whom we have shipped OLED microdisplay evaluation kits or from whom we have received initial production orders, over 17 are evaluating our microdisplay for a variety of military systems. Microdisplay-LCD 1 Microdisplay-LCD 2 Type of Microdisplay 3D Imagery DATA Capture DATA Display Polarization--可呈現6層樓高巨大畫面的大型立體影像系統 加拿大愛馬克斯公司(lMAX)是著名的立體影像裝置的開發者，該公司係發跡於蒙特婁(Montreal)萬國博覽會，當時該公司曾經將多放影機的方 式(multi一screen)應用於電影上面，產品推出後獲得極高的評價。　　由於電影製作人想避免使用複雜的多放影機方式，於是該公司又開發出以單架強力放影機就能獲得同等效果的裝置，這就