DDL-500型多晶硅铸锭炉的开发与设计.PDF

- 电 子 工 业 毫 用 设 备 材 料制备工艺与设备 DDL一500型多晶硅铸锭炉的 开发与设计 赵雪峰 (中国电子科技集 团公司第二研究所 ，山西太原 030024) 摘 要 ：在降低多晶硅成本及提高生产效率的前提下，对多晶硅铸锭炉进行 了研究调查 ，通过对 多晶硅铸锭炉结构进行改进 ，对热场等关键部位进行了重新的开发设计，提高了单炉单次的生产 量 ，满足生产要求。 关键词 ：多晶硅铸锭炉 ；加热器 ；热场改进 中图分类号 ：TF806 文献标识码 ：B 文章编号 ：1004．4507(2013)06．0017．04 DesignandDevelopmentofDDL-500MT Polysilicon IngotFurnace ZHAO Xuefeng (The2ndResearchInstituteofCETC，Taiyuan030024，China) Abstract：In the lowerpolysilicon costsand increaseproduction efficiency，the investigation of polycrystallinesilicon ingotfurnace，through hte improvementofhtepolycrystallinesilicon ingot furnacestructure，forhtedevelopmentanddesignofhtekeypartstothethermalfield improvethe ， productionofsinglesingleufrnace，meettheproductionrequirements． Keywords：PolysiliconIngotFurnace；Heatingchamber；Themr alinsulation 多晶硅铸锭炉作为光伏 电池生产过程 中的重 多晶硅铸锭炉，对光伏 电池的生产成本有着明显降 要设备，为太阳能电池生产提供着稳定、大量、廉价 低，对光伏产业的发展起着重要的增速作用。 的多晶硅硅锭。随着生产成本的激烈竞争，生产效 率的要求进一步提高，对硅锭的尺寸要求也越来越 1 多晶硅铸锭炉的开发分析 大，硅锭的质量随之急剧增加。随着硅锭的增大，成 品硅锭 的出片尺寸变得更大，出片率得到了提高， 1．1基础分析 有效利用率明显增加。因此，研制开发更大尺寸的 DDL．240多晶硅铸锭炉为我所 自行设计制造 收稿 日期 ：2013．04．15 材料制备工艺与设备 电 子 工 业 专 用 设 备 - 的第一代铸锭炉，该型铸锭炉设计成熟，并作 了大 案为：(1)保持 DDL．240多晶硅铸锭炉炉体设计 量的试验，性能稳定，运行 良好。但是由于铸锭质 结构及真空系统；(2)保持 DDL．240多晶硅铸锭 量小，铸锭规格尺寸小，已不能满足现在 的市场需 炉的加热功率；(3)保持 DDL．240多晶硅铸锭炉 求 。因此，在该设备基础上，进行再次开发设计，研 充气、温度检测结构；(4)保持 DDL一240多晶硅铸 制能满足市场需求，结构简单可靠，能提供更大质 锭炉的升降系统；(5)对石墨加热体进行重新设 量、尺寸的DDL．50