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磁性电涡流式覆层测厚仪示值误差测量结果的不确定度评定
磁性、电涡流式覆层测厚仪示值误差测量结果的不确定度评定
一、概述
1、测量方法：依据JJG 818-2005磁性、电涡流式覆层厚度测量仪检定规程；
2、环境条件：温度（20±2）℃，相对湿度＜75%，温漂≤1℃/h；
3、测量用标准：标准厚度片，AA级；
4、被检对象：磁性、电涡流式覆层测厚仪；
5、测量过程：按仪器所规定的程序进行校准。在仪器的测量范围逐一测量各标准厚度块，每块连续测量5次，取平均值作为仪器在该厚度块的示值。同一台测厚仪每一量程均应进行示值误差的校准。仪器平均测量值与标准厚度块的标称值之差即为示值误差。
6、评定结果的使用
在符合上述条件下的测量结果，一般可直接使用本不确定度的评定结果。
二、数学模型
示值误差计算公式：
式中：——测厚仪在某点的示值误差；
——该点仪器的平均测量值；
——标准厚度块的标准厚度值。
方差和灵敏系数
式中：
则
三、计算标准不确定度分量
1、标准厚度片引入的不确定度分量
AA级标准厚度片的厚度测量结果不确定度见规程，其中k=3，根据，则
50μm标准厚度片：
100μm标准厚度片：
250μm标准厚度片：
500μm标准厚度片：
1000μm标准厚度片：
2000μm标准厚度片：
2、测量力及其变动性引入的不确定度分量
测量力及其变动性不超过1/3F（F是十次测量力的平均值）时，对测量结果的影响可忽略不计，取
3、仪器分辨力引入的不确定度分量
由仪器分辨力d引入的不确定度分量呈均匀分布，由此带来的标准不确定度为：
则0.1μm分辨力（测量范围＜1000μm）时，
1μm分辨力（测量范围≥1000μm）时，
4、仪器测量重复性引入的不确定度分量
按AA级仪器测量重复性规定同一点测量10次，取极差值情况，极差系数为C≈3，不超过相应示值最大允许误差的五分之一，按正态分布计算：
，则：
50μm受检点：
100μm受检点：
250μm受检点：
500μm受检点：
1000μm受检点：
2000μm受检点：
在各受检点由测量重复性引入的不确定度分量大于由仪器分辨力引入的不确定度分量，则后者已经包括在重复性不确定度分量中。
四、合成标准不确定度
各不确定度分量之间不存在值得考虑的相关性。
50μm受检点：
100μm受检点：
250μm受检点：
500μm
1000μm受检点：
2000μm受检点：
五、扩展不确定度：
50μm受检点：
100μm受检点：
250μm受检点：
500μm受检点：
1000μm受检点：
2000μm受检点：
六、标准不确定度分量一览表
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