某光学器件生产车间洁净设计.pdf

通风除尘洁净技术 暖通空调HVAC2005年第35卷增刊 ·389· 某光学器件生产车间洁净设计 福建省机电建筑设计研究院袁维殷何燕 摘要简述了某公司100i及(10级)～100 000级洁净车间的设计方案及设备选用等，并着 重介绍了动态下换气次数的选定，以及保证相对湿度45％的技术措施和建成后运行调试结果 检测数据。 关键词转轮除湿单向流非单向流 洁净厂房相对湿度滤网效率 1概述 合，其他等级采用高效过滤器和盲板相间摆放。 mm× 本工程位于福州市福兴开发区，用于生产某光 100级地面铸铝导电高架地板60AG，600 600 CITI， 学器件，生产需要在一个有稳定的洁净度、湿度和 mm铸铝地板与回风口结合安装，架高60 温度的超净环境中进行。工程利用原有厂房，1层 其他洁净度的地面为环氧自流地坪。风淋室采用 为洁净厂房，2层为设备层，放置组合式空调器。 冷水机房、锅炉房、水泵房在厂房周边。1层净化 面积约950 喷淋时间可调。由于相对湿度要求(45±5)％，设 1382，吊顶高度3．2m，工作人员共32 人，工作时间24h，空调系统全天运行。净化车间 计选用转轮除湿机，对新风进行除湿处理，与之配 主要工艺包括刻蚀、镀膜、镀铬、光刻、涂层、涂保护 套还选用了组合式新风空调机组，利用制冷站冷水 机组提供的冷水对新风进行预冷，再用转轮除湿机 层等工序，各工段的洁净度、温度和相对湿度见 进行除湿。饱和后利用锅炉房提供的蒸汽加热成 表1。 表1 各工段的洁净度、温度及相对湿度要求 高温空气进行再生，再生蒸汽量331kg／h，蒸汽压 力0．5MPa，处理后的新风分别送入6台组合式空 调机组，与各洁净房间的回风混合后送人洁净室， 机组由混合段、表冷段、加热段、加湿段、均流段、消 音段、检修段、中效段、出风段组成，实现过滤、加 热、冷却、加湿等处理后的空气送到净化间吊顶中 的高效过滤器，0．3／zm低阻力高效过滤器 图见图1。 冷源采用制冷站的PFS-450．3半封闭螺杆式 546 冷水机组，制冷量1 kW，供／回水温度为7℃／ 12℃，热源采用锅炉房的燃油蒸汽锅炉，容量为 1．5t／h，蒸汽用于转轮的再生和空调机组的加热 原厂房为多层厂房框架结构，净化工程利用厂 加湿，调节相对湿度、温度。 房改造而成，四周墙和各工段的房间隔断采用 2关于动态和静态的