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致力于运动科学表面量测运动系统[SMP]
致力于运动科学
表面量测运动系统 [SMP]
超高精度多轴运动系统
Z
球面量测 Z C 非球面量测 RR 圆柱量测 C
RR
C
TT TT Z
Aerotech’s 表面量测系统
使用Aerotech表面量测系统 (SMP) 提升表面量测科技至新的世代! SMP为完整多轴运动系统,
特别设计以提供表面量测应用完美运动平台. SMP将2D 与3D轮廓运动进行了优化, 更高的定
位精度, 并具有纳米等级的分辨率, 大幅降低量测时间与设备体积.
SMP 系统优势
更大的灵活度 超高精度
? 2D 与3D 轮廓运动 ? 各轴具纳米等级之重复定位精度
- 量测球面, 非球面, 与圆柱结构 ? 纳米等级之最小位移量 (分辨率)
(例如. 精密光学组件量测)
? 于低速运动时仍具极端平滑的运动
- 扫描或点对点位移
降低量测时间
- 提供多种不同构型 ? 相对于传统直角坐标运动系统节省高达
40%之量测时间
? 泛用高速接口提供传感器与运动控制器高
速通讯 ? 实时之传感器与运动控制器之通讯提供量
测数据与位置数据之同步与分析
? 开放式软件可简易集成多种传感器如: 白
? 量测时可高速取得量测数据并具智能型数
光干涉仪, 多波长干涉仪, 视觉系统, 或电
据管理工具
容式量表.
最小化机台尺寸
? 简易使用, 先进运动控制算法简化轨迹产
生时间. ? 60% 相对于传统直角坐标运动系统
2
常见表面量测应用
球面
C
Z
RR
TT
C
Z
RR
C
Z
非球面 TT
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