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表面量测运动系统[SMP]

致力于运动科学 表面量测运动系统 [SMP] 超高精度多轴运动系统 Z 球面量测 Z C 非球面量测 RR 圆柱量测 C RR C TT TT Z Aerotech’s 表面量测系统 使用Aerotech表面量测系统 (SMP) 提升表面量测科技至新的世代! SMP为完整多轴运动系统, 特别设计以提供表面量测应用完美运动平台. SMP将2D 与3D轮廓运动进行了优化, 更高的定 位精度, 并具有纳米等级的分辨率, 大幅降低量测时间与设备体积. SMP 系统优势 更大的灵活度 超高精度 ? 2D 与3D 轮廓运动 ?各轴具纳米等级之重复定位精度 - 量测球面, 非球面, 与圆柱结构 ?纳米等级之最小位移量 (分辨率) (例如. 精密光学组件量测) ?于低速运动时仍具极端平滑的运动 - 扫描或点对点位移 降低量测时间 - 提供多种不同构型 ?相对于传统直角坐标运动系统节省高达 ?泛用高速接口提供传感器与运动控制器高 40%之量测时间 速通讯 ?实时之传感器与运动控制器之通讯提供量 ?开放式软件可简易集成多种传感器如: 白光 测数据与位置数据之同步与分析 干涉仪, 多波长干涉仪, 视觉系统, 或电容式 ?量测时可高速取得量测数据并具智能型数 量表. 据管理工具 ?简易使用, 先进运动控制算法简化轨迹产生 最小化机台尺寸 时间. ? 60% 相对于传统直角坐标运动系统 2 常见表面量测应用 球面 C Z RR TT C Z RR C Z 非球面 TT 圆柱结构 真实表面轮廓图面

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