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シンクロトロン放射光による X 線リソグラフィの研究 Research on X-Ray Lithography by Synchrotron Radiation 年 月 2003 3 豊田英二郎 目 次 第１章 序論 1 1-1 背景 1 1-2 X 線リソグラフィの原理 3 1-3 実用化の現状 4 1-4 研究の目的 7 1-5 リソグラフィの従来法 7 1-6 X 線リソグラフィの競合技術 10 1-6-1電子ビーム露光 10 1-6-2 極紫外光露光 11 1-6-3 イオンビーム露光 12 1-7 研究の成果 12 引用文献 15 第２章 小型放射光源の開発 17 2-1 緒言 17 2-2 点光源と放射光 17 2-3 超小型放射光源の開発 19 2-3-1 開発状況全般 19 2-3-2 超伝導シンクロトロンAURORA の開発 20 2-3-3 常伝導シンクロトロンAURORA-2 の開発 23 2-4 結言 25 引用文献 26 第３章 高強度ビームラインの開発