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(3) 谐振式调幅电路 电路的灵敏度很高,但是线性差,适用于线性要求不高的场合。 2.调频电路 传感器自感变化将引起输出电压频率的变化 G C L f 灵敏度很高,但线性差,适用于线性要求不高的场合 L f 0 3.调相电路 传感器电感变化将引起输出电压相位变化 4.自感传感器的灵敏度 传感器结构灵敏度 转换电路灵敏度 总灵敏度 第一项决定于传感器的类型 第二项决定于转换电路的形式 第三项决定于供电电压的大小 气隙型、变压器电桥 传感器 传感器灵敏度的单位为 mV/(μm·V) 电源电压为1V,衔铁偏移1μm时,输出电压为若干毫伏 3.1 自感式传感器 3.1.1 工作原理 3.1.2 变气隙式自感传感器 3.1.3 变面积式自感传感器 3.1.4 螺线管式自感传感器 3.1.5 自感式传感器测量电路 3.1.6 自感式传感器应用举例 3.1.6 自感式传感器应用举例 自感式位移传感器 自感式压力传感器 1. 自感式位移传感器 1 传感器引线 2 铁心套筒 3 磁芯 4 电 感 线 圈 5 弹 簧 6 防转件 7 滚 珠 导 轨 8 测 杆 9 密封件 10玛瑙测端 2.自感式压力传感器 变隙式自感压力传感器结构图 变隙差动式电感压力传感器 End the 3.1 * 3.1 自感式传感器 3.1.1 工作原理 3.1.2 变气隙式自感传感器 3.1.3 变面积式自感传感器 3.1.4 螺线管式自感传感器 3.1.5 自感式传感器测量电路 3.1.6 自感式传感器应用举例 3.1.1 工作原理 线圈自感 Ψ——线圈总磁链,单位:韦伯; I——通过线圈的电流,单位:安培; W——线圈的匝数; Rm——磁路总磁阻,单位:1/亨。 a)气隙型 b)截面型 c)螺管型 自感式传感器原理图 l i ——各段导磁体的长度; U i——各段导磁体的磁导率; S i ——各段导磁体的截面积; δ ——空气隙的厚度; U0 ——真空磁导率 S ——空气隙截面积 变气隙型传感器 变截面型传感器 线圈中放入圆形衔铁 可变自感 螺管型传感器。 3.1 自感式传感器 3.1.1 工作原理 3.1.2 变气隙式自感传感器 3.1.3 变面积式自感传感器 3.1.4 螺线管式自感传感器 3.1.5 自感式传感器测量电路 3.1.6 自感式传感器应用举例 3.1.2 变气隙式自感传感器 通常气隙的磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻 L与δ之间是非线性关系 当衔铁处于初始位置时, 初始电感量为 当衔铁上移Δδ时,则 , 代入式(3.1.6)式并整理得 上式用泰勒级数展开成如下的级数形式 同理,当衔铁随被测物体的初始位置向下移动时,有 对式(3.1.11)(3.1.13)作线性处理,即忽略高次项后可得 灵敏度为 变间隙式自感传感器的测量范围与灵敏度及线性度是相矛盾的, 因此变隙式自感式传感器适用于测量微小位移场合。 为了减小非线形误差,实际中广泛采用差动变隙式电感传感器 差动变隙式电感传感器 1-铁芯; 2-线圈; 3-衔铁 当衔铁向上移动时,两个线圈的电感变化量ΔL1、ΔL2 对上式进行线性处理,即忽略高次项得 灵敏度k0为 (1)差动变间隙式自感传感器的灵敏度是单线圈式传感器的两倍。 (2)单线圈是忽略 以上高次项,差动式是忽略 以上高次项, 因此差动式自感式传感器线性度得到明显改善。 3.1 自感式传感器 3.1.1 工作原理 3.1.2 变气隙式自感传感器 3.1.3 变面积式自感传感器 3.1.4 螺线管式自感传感器 3.1.5 自感式传感器测量电路 3.1.6 自感式传感器应用举例 3.1.3 变面积式自感传感器 传感器气隙长度保持不变,令磁通截面积随被测非电量而变,设铁芯材料和衔铁材料的磁导率相同,则此变面积自感传感器自感L为 灵敏度 变面积式自感传感器在忽略气隙磁通边缘效应的条件下, 输入与输出呈线性关系;因此可望得到较大的线性范围。 但是与变气隙式自感传感器相比,其灵敏度降低。 3. 测量电路 电感式传感器的测量电路主要有交流电桥式、变压器式交流电桥以及谐振式等几种形式。 1)交流电桥 交
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