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CRYSTALCOLDCATHODECOMBINATIONGAUGE測定範囲1.0101.010Pa
クリスタル/コールドカソード
コンビネーションゲージ
CC-10
CRYSTAL/COLD CATHODE COMBINATION GAUGE
-7 5
測定範囲: 1.0 ×10 ～ 1.0 ×10 ［Pa］
機能
?大気から高真空まで測定可能（自動切換え）
?アナログ出力： 10[V]F.S.
log出力または複合出力から選択
?RS485ディジタル通信
?セットポイント： 3点
?電源：DC 22～26[V] Max 8[W]
?外形寸法
94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm]（NW25)
94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm]（ICF70)
CC-10
主な用途
CC-10は、必威体育精装版のセンサー技術を取り入れ、12桁
の圧力範囲（1.0×10-7～1.0×105 ［Pa］）の連続 ?真空蒸着装置
測定を可能としたコンビネーションゲージです。
大気圧から1Paまではクリスタルゲージ、1Paから ?光学薄膜生成装置
-7
10 Paまではコールドカソードゲージを使用し測定
します。 ?加速装置とUHV研究
センサー、回路部、ディスプレイ一体型により、本
製品のみで圧力表示、セットポイントによるシステム ?電子デバイス製造装置
制御が行えます。
?光電子工学のデバイス製造装置
また、CC-10はディジタル通信RS485を標準装
備しております。
RoHS 指 令 適 合
東京電子株式会社
TOKYO ELECTRONICS CO.,LTD.
http://www.toel.co.jp
MODEL CC-10
センサーの特長 仕様
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