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第9回高エネ研メカ?ワークショップアブストラクト集(2008年4月18日) 第 9 回 高エネ研 メカ ?ワークショップ 第 9 回 高エネ研 メカ ?ワークショップ アブス トラク ト集 アブス トラク ト集 2008/4/17版 開始 9:30 挨拶、事務連絡(3 号館 1F セミナーホール、9:30~9:40) MW08-01(3 号館 1F セミナーホール、9:40~10:05) 大気圧プラズマおよびローカルウェットエッチング を用いた高能率?高精度加工法の開発 山村 和也 （大阪大） 我々の研究グループでは、プラズマ CVM、ローカルウエットエッチング（LWE）といっ た新しい超精密加工法を開発している。これらの加工法は非接触な加工法であるため、加工 特性は機械剛性によらず振動等の外乱に対して鈍感であり、加工量は加工ヘッドの滞留時間 によりナノメータオーダの精度で正確に制御できる。さらに、化学的な無歪加工であるため 材料物性を損なうことがない。本講演では、それぞれの加工原理とその応用例について紹介 する。 1/13 第9回高エネ研メカ?ワークショップアブストラクト集(2008年4月18日) MW08-02(3 号館 1F セミナーホール、10:05~10:30) 真直度形状測定のための可変２点法 奥山 栄樹 （秋田大） 真直度形状測定のための基準として、古典的には直定規等が用いられてきた。80 年代以 降は、測定面形状と走査するセンサの並進誤差等を分離するソフトウエアデータムが発展 してきた。しかし、近年では最先端科学分野や必威体育精装版家電機器の製造現場などで長尺物の測 定が要求されており、これまでのソフトウエアデータムで測定困難になってきている。そ こで本研究では偶然誤差の蓄積を小さくする特徴を持つ新しい可変２点法を提案する。 コーヒーブレイク(10:30~10:45) MW08-03(3 号館 1F セミナーホール、10:45~11:10) 国際リニアコライダー計画に求められる超伝導技術開発 山本 明 （KEK） 国際リニアコライダー計画は、概念（基準）設計段階から、第二段 階として『国際協力 による工学設計および技術開発』の段階を迎え ている。特に、超伝導加速空洞およびそれ を支える基盤技術は、そ の開発の核心となる。今後 5 年間に到達すべき、鍵を握る技術 開 発テーマを展望し、報告する。 2/13 第9回高エネ研メカ?ワークショップアブストラクト集(2008年4月18日) MW08-04(3 号館 1F セミナーホール、11:10~11:35) 次世代放射光光源?エネルギー回収型加速器（ERL) における技術的課題 河田 洋 （KEK） KEK では内外の研究機関と協力して、次世代放射光光源として蓄積リング型光源の限界 を超えるエネルギー回収型加速器（ERL)の開発を推進室を立ち上げて進めている。ERL で は電子ビームの輝度、パルス幅は従来の第 3 世代光源と比較して概ね 2～3 桁の飛躍をきた いすること、およびそのような実験環境が多くの実験ポートで実現できることがその特徴 である。一方、その実現のためには、超伝導加速空洞の導入、高輝度大電流電