清洗刻蚀源的磁场分析.pdf

第29@第4期增w 仪 器 仪 表 学 报 Ⅷ29N04 1型堡!旦 曼!!!坚!!!!坐型型童l塑!韭!鲤!翌塑! !旺型! 清洗刻蚀源的磁场分析 王穗奇束昌 西安I业大学陕西眷姆膜技术重点安验室西安710032 籀要一个离子穗中电磁场的设计好坏与否决定7这个离子源工作的好坏，为此．奉文着重丹析介绍了一个适用于请洗 和刻蚀用的大束密均匀区取发射离子束源的磁场计算、结构厦其I作原理，根据磷路理论，并利用Quickfield二维有限 元分析软件对电融场分布进行模拟．计算结果满足了离子源对电磁场的设计要求。 *键目离子谭磁场计算电场模拟 Clean Source Field MagneticAnalysis Sculpture WangWenqiZhuChang (Sch,1et对。口∞t％#州uEngt袱angXianrechnotegJcolu…崎Ⅺran710032ch㈣ bad AbstractIna11ionsou／xxthe field ornot dccldedthisionsouft：ework electromagneticdesignqmlity Oil introduceda and thett．seof this．thisartldewillfocus to qual时，如r analyzing ele册ingetchingapplicable dual-beamdensh beam structure of uniformityfiredionsourt≈of岫magneticfield、theandirsⅡmprinciple worLaecoMingtothemagnetic elementanaI”is forthe ealeulmlonfesu缸{oil to the software simulatlonof fields，the sollreemeet electromagnetic d鹳ign requirementsofthe electromagneticfield electrlcfieldsimulation sollrce calculation Ke57words{013magneticfield 图，它是一十高度对称的结构．主要由电磁线圈、 引言 阴极(不锈铜)、阳段(铁)及各部分承冷系统等 组成。工作气体由进气孔4进^离子源内部，沿 我]设计舶离了挥一般希望工作在低气压的 着配气盘均匀矬A离子柬潭的放电区，阳极3和 放电模式，但是在低气压低潋场[Lift)模式下． 阴极2之间存在一个几乎iE变的电磁场，原初电 放电电压对放电电流的影响比较小，而在低气压高 子在电场力和磁场力作用下蚍螺旋线形