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溅射制备NiMnGa磁性形状记忆合金薄膜的组织结构研究.pdf
168 材料工程/2008年增刊1(SAMPEChina2008)
溅射制备Ni—Mn—Ga磁性形状记忆合金薄膜的
组织结构研究
ofNi—Mn-Ga Films
Preparation MagneticShapeMemoryAlloys by
andtheMicrostructureoftheFilm
MagnetronSputtering
何亮,钱士强,卢寅蓓,李莱芝
(上海工程技术大学材料工程学院,上海201620)
HE Lai—zhi
Yin—bei,LI
Liang,Q/ANShi—qiang,LU
摘要:采用磁控溅射法制备Ni—Mn—Ga磁性形状记忆合金薄膜,并将制备薄膜在不同的温度下进行真空热处理。研究了
不同工艺条件下制备薄膜的结构、形貌和磁性。结果表明:采用磁控溅射在单晶Si基底上溅射Ni-Mn-Ga磁性形状记忆
合金薄膜,主要为沿基底法线方向的柱状晶结构,随着热处理温度提高,薄膜晶化程度提高,沉积在Cu基底上的薄膜磁
性优于沉积在Si基底上薄膜的磁性。
关键词:Ni—Mn-Ga合金;磁控溅射;磁性形状记忆合金
文献标识码:A 文章编号:1001-4381(2008)Suppl一0168-03
Abstract:Inthearticle,Ni—Mn-Ga filmshavebeen
ferromagneticshapememoryalloys depositedby
the filmswereannealedonvacuumatdifferenttern—
magnetronsputteringtechnique.Thenprepared
the curveofthefilmswithdifferent
perature.Thephase,microstructure,andmagnetichysteresis
technicsare researchshowedthatthefilmisisland the
discussed.The structure,and
growsalong
normalofthesubstrate.Afterthefilmsareannealedat600℃for2h。someNiMnGacanbe
phase
found.
words:Ni—Mn—Ga
Key alloyfilm;magneticsputtering;magneticshapememoryalloys
磁性形状记忆合金(FSMA)由于既具有磁场诱导晶硅片。
应变又具有热弹性形状记忆效应,是很有前景的驱动 采用JL560D2型三室超高真空磁控与离子束多
和传感材料,受到国内外很多的关注。Ni—Mn—Ga由功能溅射镀膜机溅射薄膜,靶中心距离基片中心
于具有响应频率快速和磁场诱发可逆应变大的特点, 140mm,基底为水冷方式,溅射室的本底真空度优于1
受到很多的关注。将
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