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激光自混频干涉法测量表面粗糙度的研究.pdf
第33卷增刊 光学技术 V01．33
Suppl．
2007年11月 OPTICAL Nov．2007
TECHNIQUE
文章编号：1002．1582(2007)S-0042．02
激光自混频干涉法测量表面粗糙度的研究’
邵静波，洪光
(延边大学理工学院物理系，吉林延吉133002)
摘要：对半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度中的干涉效应进行了理论分析，推导了干涉信号与表面租糙
度的数学关系式，讨论了影响测量信号的因素及表征表面粗糙度的评定参数，即表面轮廓的方均根偏差。结果表明，随
着加工表面粗糙度的降低，反射光的强度逐渐增加，被测物体表面的反射率越高，越有利于测量。
关键词：干涉效应；半导体激光；自混频干涉；粗糙度
中图分类号：TN248文献标识码：A
Researchaboutthemethodto surface
measuringroughness
on interferenceinadiode
self-mixing laser
SHA0
Jing-bo．H()NGGuang
of ofScienceand
(DepartmentPhysics，Collie Engineering，Yanbian 133002，China)
University，Jilin
Abstract：Thetheoreticala)utthe interferenceeffectw8smade．andarnathamaticsofthe
analysis self-mixing expr签sion
theories was
rnoddforaninterferencesignaldeduced．Thesomefactorsof measuresthe and
influencing sigmlroot—mean-square
deviationdiscussedin of on
were conclusionthis resultsshowthattheexcursionofthe the
paper．These m饯吲Jr签sig删lies
of on of
cl胁geof factors：reflectstrength increment．The is thesurfacetheobject，
following light gradual higherrefleetivity
themoreremunerativeitistOmeflsure．
words：interference interference；surface
Key effect；diode-
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