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Stepper基本教育训练
Stepper 機台基本原理 及操作簡介 FAB8A / PMA / PHOTO 黃郁斌 2/15/2000 * Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 大綱 1: PHOTO 流程 2: 曝光原理 3: 機台簡介 4: FAB 流程 5: 機台操作 6: 晶片傳送和機台異常 Reset 7: 機台 Alarm 處理 8: 不易對準處理 9: 測機注意事項 10: Semi-Auto 及操作異常相關處理程序 11: 名詞解釋 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 1.PHOTO 流程 STEPPER 顯影機 光阻機 SEM CD AA C D 量 測 A A 量 測 曝光圖形 ADI Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 2.曝光原理 - PHOTO = 照相 合歡山連峰照 對準機曝光 照相機成像 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. PHOTO 黃光 白光 暗房 紅光 光譜 I-line DUV 2.曝光原理 -為什麼是黃光 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 3.機台簡介 DUV: 0.25um 以上可生產機台, 共 5 台 - EX14C: E11-2, E11-3, E11-4, E12-1 - EX12B: E8-7 I-line(5x) : 0.35um 以上可生產機台, 共 15 台 -I14: I11-1, I11-5, I7-7 -I12: F9-4, F9-5, F9-6 對準機 -I11: I7-1 ~ I7-6, I8-1 ~ I8-6 I-line(2.5x) : 簡單層機台, 共 5 台 -4425i: O9-1 ~ O9-3, O-R1 ~ O-R3 光源波長 I-line: 365 nm 的 Hg Lamp DUV(KrF): 波長 246nm 的 Laser R= K*波長/NA 光阻機 顯影機 SEM AA ADI Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. SIN, POLY, ILD, METAL POLY CONT METAL SIN, POLY CONT,METAL P+,N+ P-WELL P+ P-WELL PLDD N+ 4.FAB 流程 L7W01 SIN P-WELL P-FIELD POLY PLDD P+ N+ CONT METAL1 MVIA1 METAL2 MVIA2 METAL3 PAD Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 註 1 5.機台操作1 註 2 暫停 停止(曝光完成才停) 恢復 註 3 曝光順序 註 4 操作權限 曝
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