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材料制备化学总结.ppt

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4.3.2 坩埚下降法 将盛满材料的坩埚置放在竖直的炉内,炉分上下两部分,中间以挡板隔开,上部温度较高,能使坩埚内的材料维持熔融状态,下部则温度较低,当坩埚在炉内由上缓缓下降到炉内下部位置时,材料熔体就开始结晶。坩埚的底部形状多半是尖锥形,或带有细颈,便于优选籽晶,也有半球形状的以便于籽晶生长,晶体的形状与坩埚的形状是一致的。 大的碱卤化合物及氟化物等光学晶体是用这种方法生长的。 坩埚下降法生长单晶示意图 * 4.3.3 区熔法 将一个多晶材料棒,通过一个狭窄的高温区,使材料形成一个狭窄的熔区,移动材料棒或加热体,使熔区移动而结晶,最后材料棒就形成了单晶棒。这方法可以使单晶材料在结晶过程中纯度提得很高,并且也能使掺质掺得很均匀。 区熔技术有水平法和依靠表面张力的浮区熔炼两种。 区熔法生长单晶示意图 * 4.3.4 焰熔法 这个方法的原理是利用氢和氧燃烧的火焰产生高温,使材料粉末通过火焰撒下熔融,并落在一个结晶杆或籽晶的头部。由于火焰在炉内形成一定的温度梯度,粉料熔体落在一个结晶杆上就能结晶。 如图小锤敲击料筒震动粉料,经筛网及料斗而落下,氧氢各自经入口在喷口处,混合燃烧,结晶杆上端插有籽晶,通过结晶杆下降,使落下的粉料熔体能保持同一高温水平而结晶。 焰熔法生长单晶示意图 * 这个方法用来生长刚玉及红宝石最为成熟,已有80多年的历史,在全世界范围每年生产很多吨。这个方法的优点是不用坩埚,因此材料不受容器污染,并且可以生长熔点高达2 500℃的晶体;其缺点是生长的晶体内应力很大。 4.4 固相生长 固相生长:应变退火→金属,烧结→氧化物晶体 重结晶、退玻璃化、多形体相转变 * 4.5 外延法 又名取向附生,它是指在一块单晶片上再生长一层单晶薄层,这个薄层在结构上要与原来的晶体(称为基片)相匹配。 外延可分为同质外延和异质外延。 像半导体材料的硅片再外延一层硅是属同质外延;如果在白宝石基片上外延硅,那就是异质外延了。 外延生长的方法,主要有气相外延和液相外延,也还有分子束外延等。 气相外延 材料在气相状况下沉积在单晶基片上,这种生长单晶薄膜的方法叫气相外延法,气相外延有开管和闭管两种方式,目前半导体制备中的硅外延和砷化镓外延,多半采用开管外延方式。 液相外延 将用于外延的材料溶解在溶液中,使达到饱和,然后将单晶基片浸泡在这溶液中,再使溶液达到过饱和,这就导致材料不断地在基片上析出结晶。控制结晶层的厚度得到新的单晶薄膜。这样的工艺过程称为液相外延。 这方法的优点是操作简单,生长温度较低,速率也较快,但在生长过程中很难控制杂质浓度的梯度等。半导体材料砷化镓的外延层,磁泡材料石榴石薄膜生长,多半用这种方法。 * * * * (2)第二步是制备溶胶。制备溶胶有两种方法:聚合法和颗粒法,两者间的差别是加水量多少。所谓聚合溶胶,是在控制水解的条件下使水解产物及部分未水解的醇盐分子之间继续聚合而形成的,因此加水量很少;而粒子溶胶则是在加入大量水,使醇盐充分水解的条件下形成的。金属醇盐的水解反应和缩聚反应是均相溶液转变为溶胶的根本原因,控制醇盐的水解、缩聚的条件如:加水量、催化剂和溶液的pH值以及水解温度等,是制备高质量溶胶的前提; * (3)第三步是将溶胶通过陈化得到湿凝胶。溶胶在敞口或密闭的容器中放置时,由于溶剂蒸发或缩聚反应继续进行而导致向凝胶的逐渐转变,此过程往往伴随粒子的ostward熟化,即因大小粒子溶解度不同而造成的平均粒径增加。在陈化过程中,胶体粒子逐渐聚集形成网络结构,整个体系失去流动特性,溶胶从牛顿型流体向宾汉型流体转变,并带有明显的触变性,制品的成型如成纤、涂膜、浇注等可在此期间完成。 * (4)第四步是凝胶的干燥。湿凝胶内包裹着大量溶剂和水,干燥过程往往伴随着很大的体积收缩,因而很容易引起开裂,防止凝胶在干燥过程中至关重要而又较为困难的一环,特别对尺寸较大的块状材料,为此需要严格控制干燥条件,或添加控制干燥的化学添加剂,或采用超临界干燥技术。 (5)最后对干凝结胶进行热处理。其目的是消除干凝胶中的气孔,使制品的相组成和显微结构能满足产品性能要求。在热处理时发生导致凝胶致密化的烧结过程,由于凝胶的高比表面积、高活性,其烧结温度比通常的粉料坯体低数百度,采用热压烧结等工艺可以缩短烧结时间,提高制品质量。 * 2.4.4 溶胶-凝胶法的特点 溶胶-凝胶法是一种可以制备从零维到三维材料的全维材料湿化学制备反应方法。 该法的主要特点:利用是用液体化学试剂(或将粉状试剂溶于溶剂中)或溶胶为原料,而不是用传统的粉状物体,反应物在液相下均匀混合并进行反应,反应生成物是稳定的溶胶体系,经放置一定时间转变为凝胶,其中含有大量液相,需借助蒸发除去液体介质,而不是机械脱水,在溶胶或凝胶状态下即可成型为所需制品,在低于传统烧成

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