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真空 和真空区域划分 在指定的空间内，低于一个大气压力的气体状态统称为真空。绝对的真空环境并不存在，因此，所谓的”真空”是相对的。真空状态下气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值表示。 真空区域可划分为：。。。。。。 真空蒸发镀膜法 一种在真空室中，加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸汽流，入射到固体（称为衬底或基片）表面，凝结形成固态薄膜的方法。 饱和蒸气压 在一定温度下，真空室内蒸发物质的蒸气与固体或液体平衡过程所表现出的压力称为该物质的饱和蒸气压。平时说的“蒸气压”就是指饱和蒸气压，也称为平衡蒸气压。 饱和蒸气压表示物质在某一个温度下可能蒸发出来的蒸汽分子的量，是蒸发的最大限度。物质的饱和蒸气压越高。 a.由.。。。。。。。称形状表面所对应的薄膜 ——形状 膜厚 b.由。。。。。。。即与成膜原子排列有关的膜厚 ——质量（等效）膜厚 c.以。。。。。。的表面相关的膜厚——物理膜厚 辉光放电 是指在低气压（1～10Pa）的稀薄气体中，在两个电极间加上电压时产生的一种气体放电现象。 磁控溅射 在溅射技术中，引入。。。。电磁场，改变。。。运动方向，并束缚和延长电子的运动轨迹，使离化率提高到5-6%，于是溅射速率可比二级溅射提高10倍左右。 化学气相淀积法 指单独地或综合的利用。。。。。。。。。。。。。。。。或其它形式的能源,使气态物质。。。。。。。。。并在该表面上淀积，形成稳定的固态物质的工艺过程。a. 若非真空，蒸汽分子。。。沿直线运动，。。。成膜 b. 若非真空，成膜物质与空气中。。。。。，形成。。。。即生成另外物质，如Al膜氧化形成化合物:Al2O3 . c.若.非真空，蒸发器（加热器）。。。。，加热器采用W.M。Ta等难熔金属，但由于吸气效应产生脆性（氢脆），另外由于生成化合物易损坏。 d.残余气体分子。。。。。膜层影响膜质量 真空设备包括三个部分： 即真空容器－－气体来源 真空泵－－抽气手段 真空计－－检测真空度的 技术上一般先将真空容器的压强由机械泵降低到。。。左右，再用扩散泵，目前扩散泵最高可达。。。。，一般可达10－6Torr 扩散泵必须与机械泵。。。。机械泵称为。。。，扩散泵称为。。。，操作顺序为：先开。。泵（因扩散泵不能直接与大气相连）――—再开。。。；关机时，则要先关。。。——待扩散泵油冷却到较低温度时，再关。。。 当转子顺时针转动时，空气由被抽容器通过进气管被吸入，旋片随着转子的转动使与进气管相连的区域不断扩大，而气体就不断地被吸入。 当转子达到一