上海市环境科学研究院（环评机构）受上海新昇半导体科技有.PDF

上海市环境科学研究院(环评机构)受上海新昇半导体科技有限公 司(建设单位)委托开展对“集成电路制造用 300 毫米硅片技术研发与 产业化项目”的环境影响评价工作。现根据国家及本市法律法规及规 定，并经上海新昇半导体科技有限公司同意向公众进行第二次信息发 布，公开环评内容。 本文本内容为现阶段环评结果。下一阶段，将在听取公众、专家 等各方面意见的基础上，进一步修改完善。 1 1 建设项目概况 1.1 建设项目地点及相关背景 (1) 项目地点 本项目位于浦东新区临港重装备园区 I-01-08-A地块(原 I0106-B1 地块)，东至上海中集洋山物流装备公司项目地界、南至上海电巴新 能源科技公司项目地界、西至云水路(E8 路)绿化带、北至老里塘以南 约 221m。 (2) 相关背景 集成电路产业是我国的战略新兴产业，其主要原材料 300mm 大 硅片一直被国外供应商垄断，100%进口，2020 年国内的需求量将超 过 100 万片/月。为了发展我国集成电路产业，上海新昇半导体科技 有限公司拟在临港重装备园区设立 300mm 硅片研发和生产基地，形 成 15 万片/月 300mm 半导体硅片生产规模，打破国际市场的垄断， 满足我国极大规模集成电路产业的对硅衬底基础材料的迫切需求。 1.2 建设项目主要建设内容、生产工艺、生产规模、建设周期 和投资 (1) 建设内容 本项目拟新建 4 座生产厂房、2 个中试楼及其他配套设施，总建 筑面积 128394.90m2。 项目工程特性表见表 1。 2 表 1 项目工程特性表 建设内容 规格 主体工程 生产厂房 中试楼 4 幢建筑，建筑面积 88124.8m2 2 幢建筑，建筑面积 20437.8m2 辅助设施 动力站 变电站 材料库 固废站 气体站 建筑面积 16911.72m2 建筑面积 1053.54m2 建筑面积 334.56m2 建筑面积 990.56m2 建筑面积 208m2 环保设施 废水收集处理系统 废气收集处理系统 1200m3/d，采用中和+絮凝沉淀+生化处理工艺 总处理能力 10 万 m3/h，设置 1 台碱液洗涤塔、设 置 1 台酸液洗涤塔、设置 12 台 Local Scrubber (2) 生产工艺 本项目通过多种加工过程将多晶硅加工成 300mm 硅片，生产工 艺为：前处理拉晶、滚磨、切割、倒角、研磨、清洗、应力消除、抛 光、外延。 (3) 生产规模 加工能力为 15 万片/月，180 万片/年。 (4) 建设周期和投资 本项目总投资 18 亿元，其中环保投资 3500 万元。 1.3 项目规划相容性 本项目位于临港重装备产业园区，属于 104 个保留工业地块之 一。对照《产业结构调整指导目录（2011 年本）（2013 年修改版）》， 本项目属于鼓励类产业，项目建设与产业政策相符。 根据《临港重装备产业区和物流园区分区 04PD-0302 、 04PD-0303、04PD-0304 单元（重装备产业区一期、二期）控制性详 细规划修编》，项目所在地块规划为二类工业地块，项目建设与规划 要求相符。项目距离产业区内公租房地块超过 1km，满足公租房 500m 防护距离要求；项目环境风险影响不大，布置于产业区西侧位置，与 规划环评要求相符。 3 2 建设项目周围环境现状 2.1 建设项目所在地的环境现状 (1) 环境功能区划 根据《上海市环境空气质量功能区划》，项目地区划为二类环境 空气质量功能区；根据《上海市水环境功能区划》，项目地区划为 V 类水环境质量功能区；根据《上海市环境噪声标准适用区划》，项目 地区划为声环境 3 类功能区。 (2) 环境空气质量 本项目区域内 SO2、NO2、NOx、氟化物小时浓度及 SO2、NO2、 NOx 、 PM2.5 、 PM10 日 均 浓 度 均 符 合 《 环 境 空 气 质 量 标 准 (GB3095-2012)》二级标准限值要求；NH3和 HCl 一次浓度均满足《工 业企业设计卫生标准(TJ36-79)》“居住区最高容许浓度”的相关要 求。 (3) 地表水环境质量 项目周边地表水部分监测断面 pH、COD、BOD5、氨氮、石油类、 氟化物等指标均满足 V 类功能区划要求，总氮超标。 (4) 声环境质量 根据监测结果，企业周界外声环境达到《声环境质量标准》 (GB3096-2008)3 类标准要求。 (5) 土壤环境质量 根据监测结果，土壤各重金属因子均满足《土壤环境质量标准》 二级标准(GB15618-1995)要求，挥发性有机物、半挥发性有机物、总 石油烃、有机磷农药和有机氯农药均未检