双频激光干涉仪测试直线电机进给定位精度的研究.pdfVIP

!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 机床这一研究内容!将越来越具有极其重要的学术价值和 广阔的工业发展和应用前景 # 参考文献$ # ! $ 关浩!等 #! 世纪新兴机床 $ 虚拟轴并联机床# % $ 江苏机械制 造与自动化! #! ! ’() % !*$!+ # # $ 陈文家!等 并联机床的发展现状与展望# % $ 机电工程! #, ! !+-(. % /$0 # 1 $ 李冬川 并联机床的现状与发展# % $ 组合机床与自动化加工技 术! ## ! -2) % !$1 # ( $ 李雷 并联机床的新发展在汉诺威 345#! 展出的并联机 床# % $ 6434 ! ## ! ’1. % !/$!0 # / $ 顾锋 7 等 并联机床的研究与技术进展# % $ 机床与液压! ## ! ’2. % !($!2 # 2 $ 汪劲松 7 黄田 并联机床机床行业面临的机遇与挑战# % $ 中 国机械工程! !000 ! ! ’ ! ( % !!1$!!* # * $ %899: ;= ?= @9A= B?=C?D;?E: FGDHIE89J?HI= % KL8 M8N$ I= B8AI,GHI= O= 4?DD FGDHIEJ?HI= # B $ #70 ’ 编辑 启 迪( 作者简介%储开宇’ !#$% ( !男!副教授!研究方向为机械设计及理论 收稿日期% ’()% (% ( !!!!!!!!!! 基金项目%浙江省科技计划重点科研项目’ (!!!($* ( !!!!!!!!!!!!!!!! !#$%’ ()*+,-./0123456 贾激雷 !! 徐月同 #! 傅建中 # ’ ! 浙江科技学院!浙江 杭州 1!/ ) # 浙江大学 机械工程学系!浙江 杭州 1!#* ( 摘 要%应用双频激光干涉仪对直线电机进给的定位精度进行了测试 在介绍双频激光干涉仪测量原理的基础上!对 直线电机进给定位精度测试方法作了详细的描述 测试结果发现!直线电机进给的速度*加速度的变化对定位精度的 影响不是很大 利用最小二乘法对各点定位精度平均值进行分段线性拟合!并对直线电机进给的定位精度进行补偿! 可以较大地提高直线电机进给的定位精度 关键词%直线电机) 激光干涉仪) 定位精度) 误差补偿 中图分类号% KP*( 文献标识码% @ 文章编号% !#$#111 ’ #( ( +$!*$1 !#$%’ () *+#,%-). /’ 0(#-/-() 1%%(%# (2 3-)$% 4(/(% 5%-6 78 9:- ;%,)8 =+#% )/%2%) ?@ ?-AB- C D EF G,H/(). I D ;F ?-$)JK’(). I ’!QL8R?=C O=DHHGH8 IS MN8=N8 ?= H8NL=I,IC:7 P?=CJLIG 1!/7 FL=?T #U8V?9HE8=H IS 48NL?=N?, 3=C=889=C7 QL8R?=C W=A89DH:7 P?=CJLIG 1!#*7 FL=?. @7#/%$/L OH D V98D8=H8 HL?H HL8 VIDHI= 899I9D IS ,=8?9 EIHI9 9A8 ;898 E8?DG98 X: H;N8 S98YG8=N: ,?D89 =H89S898=N8 V9=NV,8 KL8 E8HLI IS E8?DG98E8=H ;?D 8DN9X8 = 8H?, X?D8 I= ,?D89 =H89S898=N8 KL8 H8DH 98DG,HD DLI;8 HL?H HL8 A?98H8D IS A8,INH: ?= ?NN8,89?HI= IS ,=8?9 EIHI9 ;898 =IH 98,?H8 I= HL8 VIDHI= 899I9D WD=C HL8 ,=8?9 SHH=C X: ,8?DH DYG?98 E8HLI7 HL8 VIDHI= 899I9 NIEV8=D?HI= N?= NI=D89?X,: EV9IA8 HL8 VIDHI= ?NNG9?N: M8 :(%N#L ,=8?9 EIHI9T ,?D89 =H89S898=N8 =DH9GE8=HT VIDHI= 899I9DT 899I9 NIEV8=D?HI= O 前 言 随着精密制造和数控技术等先进制造技术的发展!高 速*高效*高精度成为当前数控设备的发展方向 长期以 来!数控机床的进给系统主要是+ 旋转电机 Z 滚珠丝杠, 由于从电动机主轴到工作台之间存在联轴节*丝杠*螺母* 轴承*支架等一系列中间环节!当进给部件要完成启动*加 减速*反转*停车等动作时!这些机械元件产生的弹性变 形*摩擦*反向间