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精密加工与特种加工
第五,六章复习重点
第五章 高能束加工
5.1离子束加工的基本原理:
离子束加工是利用离子束对材料进行成型或改性的加工方法。在真空条件下,将由离子源产生的离子经过电场加速,获得具有一定速度的离子束投射到材料表面,产生溅射效应和注入效应,这就是离子束加工的物理基础。
材料的溅射率与离子束的入射角有关,对于表面抛光和刻蚀工艺必须严格控制离子束的束散角。
5.2.3.1 离子束加工的特点:
(1)易于精确控制
(2)加工时产生污染少
(3)加工应力小,变行极小,对材料适应性强
离子束加工技术主要有四种:
离子束刻蚀、溅射镀膜、离子镀和离子注入。前三种是利用离子溅射效应,最后一种是基于注入效应。
离子束刻蚀以其适于精加工的特点而应用于各个领域,如高精度加工、表面抛光、图形刻蚀、点镜试样制备、石英晶体振荡器,以及各种传感器件的??作等。
5.2.3.3(1)溅射镀膜原理:
溅射膜基于粒子轰击靶材时的溅射效应,各种溅射技术采用的放电方式有所不同。直流二极溅射是利用直流辉光放电,三极溅射是利用热阴极支持的辉光放电,磁控溅射是利用环状磁场控制下的辉光放电。
以上两种溅射方式,由于生产率低,等离子体内不均匀等原因,难以在实际生产中大量应用。而后出现的磁控溅射技术,在工业生产得到了实际应用。
合金膜的镀制:在各种镀膜技术中,溅射最适合于镀制合金膜可分为三种方法:多靶溅射、镶嵌溅射和合金靶溅射。
化合物膜的镀制:化合物膜通常是指由金属元素(碳、氮、氧、硼、硫等)的化合物镀成的薄膜。具体方法为:直流溅射、射频溅射和反应溅射。
5.2.3.4(1)离子镀的基本原理(易出简答题第116页)
由于离子镀的附着力好,使原来在蒸镀中不能匹配的基片材料和镀料,可以用离子镀完成。还可以镀出各种氧化物、氮化物和碳化物的膜层。
(2)离子镀的应用
= 1 \* GB3 ①耐磨功能膜, = 2 \* GB3 ②润滑功能膜, = 3 \* GB3 ③抗蚀功能膜, = 4 \* GB3 ④耐热功能膜, = 5 \* GB3 ⑤装饰功能膜。
5.3.1.1电子束加工的原理:
电子的产生是通过加热发射材料,在热发射的效应下,电子飞离材料表面。热发射电子在强电场作用下,经过加速和聚焦,沿电场强度相反方向运动形成高速电子束流。
电子束加工的另一种是利用电子束流的非热效应。
5.3.1.2电子束加工的特点:
(1)束斑极小
(2)能量密度很高
(3)生产率高
(4)可控性好
(5)无污染
(6)电子束加工需要一套专用设备和真空系统,价格较贵,生产应用有一定局限性,
5.3.3电子束加工应用
电子束加工可用于打孔、焊接、热处理、刻蚀等多方面。但在生产中应用较多的是焊接、打孔和蚀刻。
电子束焊接的工艺特点
焊接深度较宽
? 焊接速度高
? 热变形小
? 焊接物理性能好
? 工艺适应性强
? 焊接材料范围广
电子束曝光主要分为两类:扫描电子束曝光,又称电子束线曝光;投影电子束曝光,又称电子束面曝光
5.4.1激光加工的四大特性:高亮度、高方向性、高单色性和高相于性
激光加工的特点:
加工方法多、适应性强。
加工精度高,质量好。
加工效率高,经济效益好。
节约能源与材料,无公害与污染。
加工用的是激光束,吴“刀具”磨损及削力影响的问题。
5.4.2激光加工设备
激光器:
激光器是激光加工的重要设备,它将电能转变成光能,产生激光束。按工作物质的形态可分为固体、气体、半导体和液体激光器。
导光聚焦系统
导光聚焦系统的关键技术:激光束的变化方式、光路及机械结构的精确设计、光学元件的选择、光学元件的加工工艺及镀膜技术、光束质量的在线监测与控制、自动调焦、被加工工件质量实时监控技术等。
3. 激光加工设备的发展趋势
激光加工设备的发展主要体现在数控化和综合化、小型化和组合化,以及搞重复性和高可靠性等方面。
5.4.4 激光加工的主要应用
1. 激光增材制造
增材制造技术将和20世纪50年代的数控技术及60年代的特种加工技术具有等同的重要意义。
增材制造技术具有以下突出优点:
?对零件的复杂性几乎没有任何限制,特别是适合于制作具有复杂形状的零件;
?适合于快速产生零件,使产品迅速投放市场,征求用户意见。产品更新换代容易,生产周期短,成本低;
?零件生产不需要设计制造工装设备。
(1)传统金属表面处理方法有:表面硬化法、扩散表面渗透处理法、金属保护膜法、防锈保护膜法、电化学处理、喷丸处理、孔冷挤压及干涉配合等技术。
(2)利用力效应的激光表面处理技术: = 1 \* GB3 ①金属的激光成型, = 2 \* GB3 ②激光冲击
(3)利用热效应的激光表面处理技术: = 1 \* GB3 ①激光淬火, = 2 \* GB3
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