6透射电子显微镜的结构与功能课案.ppt

六 、透射电子显微的结构与功能; 透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope TEM）;;70～80年代 分析电子显微学兴起 高分辨电子显微术（HREM） X射线能谱分析（EDAX 或 EDS） 电子能量损失谱分析（EELS） 微衍射与微微衍射(μD 、μ－μD) 会聚束电子衍射（CBED） 扫描透射电子显微术（STEM） 表面反射衍射电子显微术（RHEED） 美国 亚利桑那州立大学 J.M.Cowley Diffraction Physics 代表作： J.J.Hren Introduction to Analytical Electron Microscopy J.C.H.Spence Experimental High-Resolution Electron Microscopy 90～今 透射电子显微学进展 叶恒强 王元明 主编 电子全息术、生物大分子材料 、纳米材料、物镜球差校正 高分辨、高分辨透扫（Z衬度） 等等;S’; 瑞利判据：点物S1的艾里斑中心恰好与另一个点物S2的艾里斑边??（第一衍射极小）相重合时，恰可分辨两物点。; 能分辨开的物面上 两点间的最小距离d， 称为显微镜的分辨本 领。;☆　电子 具有波粒二象性，与可见光相似，可作光源。 电子波长为： 　　 ν为电子的速度，与加速 电压 E 的关系 ;6.2 电子透镜 利用轴对称非均匀电场或磁场力使电子会聚或发散的装置。核 心部件，决定电镜的性能。;B(z);☆ 磁透镜与光学 透镜作用相仿，光 学术语均可借用。 如焦点、焦距、 球差、景深等。 ☆ 电子波长很短，如 加速电压100kV时为 0.00370nm，分辨本领 可达0.002nm。 但实际达不到，原 因是磁透镜也有像差。;▲　球差： 透镜中心与边缘对电子的会聚能力不同造成。 在物面上的影响半径为 rS=CSα3 CS为球差系数 α 为孔径半角 ;▲　像散： 透镜磁场不完全对称造成。 物面上的影响半径为 rA=M△fαα △fα 像散引起的焦距差 ;▲　色差： 电子能量不同造成 在物面上的影响半径为 rC=CCα△E/E △E/E 电子能量变化率 CC 色??系数 ;磁透镜另一大特点 △　景深： 保持象清晰度时，试样在物平 面沿轴向可移动的距离。;△　焦深: 保持象清晰度时，像平面沿轴 向可移动的距离。 ;6.3 电子显微镜的结构;电子光学系统; 照明部分; 成像放大部分 物镜： ;三级透镜 的放大成 像和电子 衍射的光 路图;;Date