GASSYSTEM施工规范(洁净管路)汇编.ppt

GAS SYSTEM施工规范 管路的连接 管路的架设 弯管规范 切割规范 熔接规范 管路标示 一.管路的连接---较常见的有以下五种： 卡套式接合(SWG)，一般为1”以下尺寸。主要用于CDA GN2.通常如下图所示。 安装手续、照下列步骤实行 1TUBE管插入接口、确定管于接口内牢固嵌入、然后于嵌入程度作记号。 2为了确定接口构成、TUBE管在内时，缓缓地松开螺钉帽，确认TUBE管前后金属套圈 是否正确插入。 3TUBE管在接口内时，指紧后，用专用螺旋钳固定，旋转螺钉帽1又1/4圈 2. VCR --- 主要用于VMP/B`机台及阀件的连接安装手续照下列步骤 1检查配件是否损伤。 2GASKET及GASKET RETAINER装上本体GLAND，但须小心不伤及本体。一旦有伤痕全体的密封度会受影响。 3组合其他部品，紧紧旋转雌性钉帽。 4于雄性及雌性钉帽作记号。 5用专用螺旋钳固定本体，于316不锈钢（N2O`O3`CO和NICKEL GASKET的场合，指紧之后 再旋转1/8次。 3.NPT接头安装 NPT牙型接头一端为SWG型接头，另一端为螺纹接头。 NPT牙连接于机台前，须以生料带（TYPE-SEAL）先行以渐进法案顺时针方向缠绕于牙端数圈。 连接于机台时，先以手旋紧接头，再以扳手施力旋紧。 4．Flange 接头安装 1．Flange接头用于大型阀件连接处；施工前检查Flange是否有瑕疵，并确定清 洁材料表面。 2．将Flange以氩焊焊接与连接处，将管子插入距Flange正面2-3mm深度处点焊 之；用手焊机将Flange正面延圆周焊接一圈，用同样方法再焊接Flange的背面；如果先焊Flange背面，极可能会污染Flange正面而导致漏缝，因此务必先焊Flange正面部分。 3．焊接时需注意与工材连接成垂直状，焊道不得有孔，焊渣及龟裂细纹产生，外部不允许因过火导致色异。 4．组合各阀件时，于阀件间置入一垫片（铁弗龙）再用手将螺丝固定、螺栓固定方式以对角法依序装置。  5．调整组合阀件之水平，使成一直线；再以开口扳手依对角方式螺紧各螺栓。  5. 焊接方式连接 主要用于管路中间部分的连接 二. 管路的架设 1． 预制 施作现场需配有一临时性洁净棚(Clean Booth)，且所有配管工作的操作基本上在此区域内完成，以避免一些不当的污染。此洁净棚必须维持且控制在以下的环境条件： 临时性洁净棚： A.微尘数量（静态数，粒子小于0.3um）1um=0.001mm： (人的一般毛发为100um) 库房:（用于储存材料及预制好的阀盘、管件等） 其洁净度为Class 10000。在Class 10000 Clean Booth内测得的微粒数量（0.1um 以上的微粒）不能超过10000 PCS/c.f 切割工作区域: Class 1000 用于切割管材，组装阀盘等。 二次阀盘组之形式： 一般而言有如下之常见形式： 1Specialty Gas（无盘组，由VMB/VMP取代） 2Bulk Gas EP级由Diaphragm Valve+Regulator+Gauge+Filter组成（有时加装止回阀，以避免气体回 流污染气源） BA级由Ball Valve+Regulator+Gauge组成注意：配管时有关闭二次盘组Parts之构造须与业主讨论后才能定案。 焊接工作区域: Class 100 用于焊接、预制管件。 B.环境： 此环境棚内保持正压30Pa,足以阻绝微粒、油污及其他外来的物质。 C.在此区域内工作，必须身着无尘衣、鞋及PVC手套。 当微粒数量超标时，应减少洁净室内工作人数，或更换MEPA过滤器再做一次测试，直到达到标准后再开始工作。 1． 预制工作（在简易洁净室clean booth） 1-1．假镕 目的：使现场的焊接工作降至最低量 1自动焊接时，若配管直径大于20A应根据需要实行假镕。 2假镕的场合也需要由有资格者实行、施工前确定保护气体是否符合流量及纯度的规 定。 3假镕时，确认两配管切面处理符合规定、配管的中心一致。 4假镕时镕接部的入量应小于配管厚度的1/3。 5假镕间隔根据配管大小而定、但普通于等间隔四处实行。 6假镕后须清洁表面氧化膜、确定镕点与配管表面平坦。 假镕位置一般为4点或6点 1-2.架设程序 将工作管路两端套上管套，连接冲吹气体及阀 完成焊接之后，将管路两段之端口用管塞封闭 1-3.储存及搬运 材料必须置于特定的储藏间，在