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LPCVD实验预案Ver
@Anwell P＆M Group
PAGE 19
Making the IMPOSSIBLE possible
PLACEHOLDER [Insert Date] \* MERGEFORMAT CZ815 Team
LPCVD实验方案
目录
TOC \o 1-3 \h \u HYPERLINK \l _Toc28487 第一章 绪论 PAGEREF _Toc28487 3
HYPERLINK \l _Toc21038 1.1理论综述 PAGEREF _Toc21038 3
HYPERLINK \l _Toc1126 1.2薄膜性能与测试项目 PAGEREF _Toc1126 3
HYPERLINK \l _Toc5995 1.2.1光学性能 PAGEREF _Toc5995 3
HYPERLINK \l _Toc29190 1.2.2电学性能 PAGEREF _Toc29190 3
HYPERLINK \l _Toc13603 1.3文献实验调研 PAGEREF _Toc13603 3
HYPERLINK \l _Toc2348 1.3.1温度对薄膜性能的影响 PAGEREF _Toc2348 3
HYPERLINK \l _Toc12896 1.3.2气体对薄膜性能的影响 PAGEREF _Toc12896 5
HYPERLINK \l _Toc3722 1.3.3腔室压强对薄膜性能的影响 PAGEREF _Toc3722 6
HYPERLINK \l _Toc23468 1.3.4厚度对薄膜性能的影响 PAGEREF _Toc23468 7
HYPERLINK \l _Toc21656 1.3.5退火对薄膜性能的影响 PAGEREF _Toc21656 7
HYPERLINK \l _Toc31056 1.4薄膜特性要求(初步要求)： PAGEREF _Toc31056 8
HYPERLINK \l _Toc2916 第二章 初步测试性实验 PAGEREF _Toc2916 9
HYPERLINK \l _Toc2147 2.1实验目的 PAGEREF _Toc2147 9
HYPERLINK \l _Toc7140 2.2玻璃片传输的考虑 PAGEREF _Toc7140 9
HYPERLINK \l _Toc5462 2.3源的温度设定 PAGEREF _Toc5462 9
HYPERLINK \l _Toc21199 2.4源的稀释与载气设定 PAGEREF _Toc21199 9
HYPERLINK \l _Toc3046 2.5预加热实验 PAGEREF _Toc3046 9
HYPERLINK \l _Toc32586 2.6气体流量与温度实验 PAGEREF _Toc32586 10
HYPERLINK \l _Toc12186 2.7衬底温度实验 PAGEREF _Toc12186 11
HYPERLINK \l _Toc3047 2.8掺杂浓度实验 PAGEREF _Toc3047 13
HYPERLINK \l _Toc18743 2.9生长气压实验 PAGEREF _Toc18743 13
HYPERLINK \l _Toc3280 2.10水汽分压实验 PAGEREF _Toc3280 13
HYPERLINK \l _Toc14546 第三章 特定薄膜 PAGEREF _Toc14546 15
HYPERLINK \l _Toc21525 3.1实验目的 PAGEREF _Toc21525 15
HYPERLINK \l _Toc22883 3.2实验方式 PAGEREF _Toc22883 15
HYPERLINK \l _Toc25958 第四章LPCVD机台各腔室判定 PAGEREF _Toc25958 16
HYPERLINK \l _Toc18953 4.1实验目的 PAGEREF _Toc18953 16
HYPERLINK \l _Toc11470 4.2实验方式 PAGEREF _Toc11470 1
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