MEMS应用讲解.ppt

MEMS的应用;6.1 MEMS的应用;武器制导和个人导航芯片上的惯性导航组合 超小型、超低功率无线通信（RF MEMS）的机电信号处理 军备跟踪、环境监控、安全勘测的无人值导分布式传感器系统 小型分析仪器、推进和燃烧控制的集成微流量系统 武器安全、保险和引信 有条件保养的嵌入式传感器和执行器 高密度、低功耗的大规模数据存储器件 敌友识别系统、显示和光纤开关的集成微光学机械器件 飞机分布式空气动力学控制和自适应光学的主动、共形表面;MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机;MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机;分布式战场微型传感器网络 探测人员、车辆运动信息，查明敌人军队部署调动 布撒、收集信息方式; 工作原理 陀螺仪测量姿态和转动的角速度，保持对加速度对准的方向进行跟踪；加速度计测量加速度的变化 ; 要求 ;二、MEMS在汽车上的应用; 主要用途;安全气???;典型汽车用产品;;三、MEMS在生化、医学上的应用; 心脏起搏器/人工心脏; 三大组成部分;手术操作部分;手术观察部分与系统集成;;安捷仑公司的Bioanalyzer 样品处理、分离、检测、分析集成于一体;BioMEMS;研究背景 ;PMMA微流控芯片制作及实验研究;1.PMMA微流控芯片制作;2.微通道结构设计;3.PMMA微流控芯片制作;4.PMMA微流控芯片参数测量;5.电流监测实验系统;;6.电渗流的测量;6.电渗流的测量;6.2 MEMS的封装;1、封装设计;芯片级封装;器件级封装;2、封装工艺;2）引线键合;热压键合;超声键合;热超声球键合;3）微密封工艺;4）先进封装——倒装焊;焊球阵列Ball grid array (BGA);4）先进封装——多芯片封装（MCP）;4）先进封装——多芯片封装（MCP）;4）先进封装——模块式封装（MOMEMS） ;5）插装元器件的结构;3、封装基片材料;陶瓷;环氧玻璃;金属;本章重点难点;本章学习要求